판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS (2) Chambers for Endura #293667135

AMAT (2) Chambers for Endura는 반도체 산업의 다양한 R&D 및 생산 프로세스 응용 분야를위한 맞춤형 울트라 하이 진공실입니다. 이 정확하고 신뢰할 수있는 챔버 세트 (chamber set) 는 까다로운 반도체 환경의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS (2) Endura 용 챔버는 두 개의 개별 챔버 (주 공정 챔버 및 후면 공정 챔버) 로 구성됩니다. 주요 공정 챔버는 4.8 리터 (1.3 갤런) 용량과 3.15 입방 미터 (1.2 입방 피트) 용량의 대형 차원 챔버입니다. 304 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 전금속 구조로 온도 조절을위한 정밀 제어 난방 요소가 장착되어 있습니다. 방은 또한 터보 분자 펌프, 스크롤 펌프, cryopumps, 터보 드래그 펌프, 이온 펌프 등 다양한 진공 펌프를 지원하므로, 각 작업에 가장 적합한 진공 솔루션을 선택할 수 있습니다. 두 번째 챔버 (뒷면 프로세스) 는 크기가 줄어든 밀폐 된 챔버이며, 일반적으로 에칭 및 스퍼터링에 사용됩니다. 0.21 입방 미터 (0.07 입방 피트) 의 부피를 특징으로하며 최대 500 ° C의 온도 조절을 제공합니다. 이중벽 스테인레스 (stainless) 구조이며 플라즈마 보조 에칭 공정의 적용에 적합한 맞춤형 전극이 장착되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS (2) Chambers for Endura는 일반적으로 기존 진공 시스템에 연결되어 있으므로 기존 프로세스를 간소화하는 동시에 높은 수준의 정확성과 균일성을 보장합니다. 챔버 세트에는 비상 정지 스위치, 접지 연결, 푸메 후드, 안전 조명 커튼 (Safety Light Curton) 과 같은 안전 기능도 장착되어 있습니다. 최종 결과는 많은 R&D 및 프로덕션 프로세스 어플리케이션에 적합한 강력하고 안정적인 도구입니다. 이 챔버 (Chamber) 세트는 지속될 예정이며, 정밀 제어 난방 시스템은 일관된 결과를 보장하며, 반도체 산업의 까다로운 요구 사항에 대한 논리적 선택입니다.