판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #9364083

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600 원자로는 재료 가공 응용 분야에 사용되는 플라즈마 에치, 증착 및 어닐링 장비입니다. 첨단 나노 기술 (nanotechnology) 기능을 갖춘 이 원자로는 박막의 증착 및 에칭과 관련된 R&D 프로젝트에 사용됩니다. AKT 1600은 고온, 에너지 이온 및 기타 종을 생성하는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여 다양한 물질을 에치하는 데 사용할 수 있습니다. 이 ICP 소스는 고주파 RF (High Frequency RF) 전원 공급 장치에 의해 공급되며, 플라즈마에 전달되는 전원을 조정하도록 조정할 수 있습니다. AMAT AKT1600은 섭씨 75도에서 1,200도 사이의 고온으로 작업 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 1600은로드 잠금 챔버가있는 이중 챔버, 수평 구성 원자로입니다. 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 는 챔버 또는 장치를 외부 오염으로 노출시키지 않고 두 챔버 사이에 웨이퍼 캐리어를 운송하는 역할을합니다. 이것은 공기 또는 기타 오염 물질이 가공 챔버에 들어가는 것을 방지합니다. AMAT 1600은 금속, 중합체, 유전체와 같은 다양한 필름을 증착 할 수 있습니다. 이것은 ICP 머신의 소스 파워 (source power) 와 결합하여 가스를 장치에 넣는 가스 주입 시스템 (gas injection system) 을 통해 달성되며, 이는 증착 된 재료의 밀도를 수정할 수 있습니다. DLOS (Directed Line Of Sight) 를 생성하는 고급 난방 요소는 챔버에 증착 된 필름 또는 기타 재료를 어닐링할 수 있으며 5 분에서 몇 시간 사이에 설정 할 수 있습니다. 1600 은 프로세스 속도 (process rate) 와 구성 (composition) 을 실시간으로 제어할 수 있으므로 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 정확도 (고급 난방 요소와 결합) 를 통해 프로세스 반복성과 안정성이 향상됩니다. 이 도구에는 카메라 이미징 (Camera Imaging), 적외선 이미징 (Infrared Imaging) 과 같은 다양한 진단 기능도 있습니다. 전반적으로 AMAT/AKT AKT1600 원자로는 재료 처리 응용 분야에 사용되는 고급 도구입니다. ICP 자산 및 DLOS 난방 기능으로 정확한 에칭, 증착 및 어닐링 결과를 생성 할 수 있습니다. 이러한 기능은 반복 가능한 (repeatable) 결과로 강력한 구조물을 생산할 수 있게 해 주며, 최종 제품의 품질과 신뢰성을 보장합니다.