판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #293620425

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600은 현대 웨이퍼, 기판 등 다양한 반도체 부품의 높은 처리량 생산을 위해 설계된 단일 웨이퍼 원자로입니다. 이 다용도 원자로는 최대 6 인치 직경의 단일, 비 옥로드 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 원자로는 2 개의 개별 카세트를 수용하도록 설계되어 있으며, 2 개의 개별 프로세스를 동시에 실행할 수 있습니다. 원자로의 정교한 공정 챔버 디자인은 다차원, 고밀도 플라즈마 (HDP) 의 균일 한 분포를 허용합니다. 이 특수 챔버 (specialized chamber) 는 반복 가능한 주기 시간에 반복 가능하고 신뢰성이 높은 고 수율 결과를 산출합니다. AKT 1600에는 멀티 노즐 쇼어 헤드 (multi-nozzle showerhead) 가 장착되어 모든 기판의 비율에 대한 유전성 균일성을 보장합니다. 원자로 챔버에는 가스 흐름 매니 폴드와 디지털 산소 게이지가 장착되어 있습니다. 이 기능은 각 프로세스의 특정 프로세스 요구 사항을 최적으로 제어합니다. 원자로 는 건조 한 환경 에서 작동 하도록 설계 되어 있어서, 깨끗 한 공정 환경 을 이용 할 수 있다. 그렇다. 미니 센서 (Mini-sensor) 및 밸브 터보 펌프 (Valved Turbo Pump) 는 각 프로세스에서 올바른 양의 공정 가스를 제공하며, 반응기에 신뢰할 수 있고 반복 가능한 성능을 더합니다. 프로세서에는 깊이를 조정할 수있는 보트 높이 (boat elevation) 시스템이 장착되어 있어 적재되지 않은 웨이퍼로 최적의 증착 균일성이 보장됩니다. AMAT AKT1600 은 Touch Screen 사용자 인터페이스와 함께 제공되므로 프로세스 매개변수와 레시피를 신속하게 변경하고 간편하게 모니터링할 수 있습니다. 프로세스 모니터링 및 제어 시스템 (Process Monitor and Control System) 은 다운타임을 최소화하고 각 프로세스의 수율을 극대화하는 데 도움이 됩니다. 이러한 시스템의 안정성과 반복성을 통해, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT1600은 반도체 부품의 처리량이 많은 생산에 적합한 옵션입니다.