판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #293616651

AMAT / APPLIED MATERIALS 1600
ID: 293616651
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600은 반도체 산업에서 고성능 박막 재료를 만들기 위해 사용되는 중온과 고온의 CVD (thermally driven chemical vapor deposition) 화학 원자로입니다. 온도 범위는 800 ~ 1900 ° C이며, 균일성과 반복성이 뛰어난 고품질, 복잡한 재료를 생산할 수 있습니다. 원자로에는 여러 개의 가스 입구, 진공선, 온도 센서가 장착 된 가열 된 챔버 (heated chamber) 가 있으며, 이는 온도, 가스 흐름 및 압력에 대한 정확한 제어를 가능하게합니다. 이 챔버에는 또한 우수한 열 단열재를 제공하고 원치 않는 부산물의 증착에 저항하는 쿼츠 라이너 (quartz liner) 가 있습니다. 원자로는 실리콘, 게르마늄, 질화 갈륨, 다이아몬드 같은 탄소와 같은 광범위한 박막 재료의 증착을 포함하여 다양한 응용 분야를 가지고 있습니다. 이러한 재료를 사용하여 필드 효과 트랜지스터, 특수 필터 코팅 (specialized filter coating) 과 같은 고성능 컴포넌트를 생성할 수 있습니다. 또한 AKT 1600 은 고급 광학, 전자, 생의학 장치 에 사용 할 재료 를 생산 할 수 있다. 원자로 (Reactor) 는 통합 제어 시스템 (Integrated Control System) 과 데이터 획득 (Data Acquirition) 기능을 통해 다양한 장치와 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 내구성을 극대화하기 위해 부식 내성 스테인레스 스틸 하우징이 있습니다. 가스필터, 질량 흐름 컨트롤러, 수동 밸브 (manual valv) 와 같은 다양한 추가 액세서리 구성 요소를 사용하여 시스템을 더욱 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 AMAT AKT1600에는 과압 보호, 온도 센서, 압력 및 흐름 모니터 등 다양한 안전 기능이 제공됩니다. AMAT 1600 은 다양한 디바이스 구성 요구 사항을 충족하고, 뛰어난 반복성을 갖춘 고품질 소재를 생산하는 데 이상적인 툴입니다. 연구원들과 엔지니어들에게 탁월한 균일성 (unifority), 정밀성 (precision), 반복성 (repeatability) 을 지닌 고급 재료의 증착을위한 효과적이고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 안전하고 효율적인 운영 프로세스를 보장하는 다양한 기능이 있습니다 (영문).
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