판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0660-01699 #293659250

AMAT/APPLIED MATERIALS 0660-01699 Reactor는 다양한 공정 화학 물질 및 기질을 수용하도록 설계된 고성능, 매우 다양한 장치입니다. 혁신적인 정밀 제어 기술로 구동되는 AMAT Reactor는 고유 및 도핑 된 실리콘, 폴리 실리콘, 비 무정형 및 비정질 실리콘, 단일 벽 탄소 나노 튜브 등 다양한 재료의 생산을 자동화 할 수있는 프로세스 기반 장치입니다. 원자로에는 최대 8 개의 웨이퍼를 수용하는 챔버 (chamber) 가 장착되어 있어 처리량이 높습니다. 이 약실 은 "스테인리스 '로 만들어졌으며, 증착 시 최적 의 열 상태 를 보장 하기 위해 공정" 가스' 를 균일 하게 분배 하는 "가스 '확산 장비 로 설계 되었다. 전기난방시스템 (Electric-heating System) 은 최고의 성능을 위해 0.2 ° C 이내에서 정확한 열 예산을 제공 할 수 있습니다. 또한, 저용량 전원 공급 장치는 최대 40kHz (최대 40kHz) 의 주파수 범위를 제공하여 빠르고 효율적인 증착을 위해 정확한 타이밍 제어를 보장할 수 있습니다. 안전을 극대화하기 위해 APPLIED MATERIALS 원자로는 다양한 사용자 조정 가능한 안전 기능을 제공합니다. 자동화 된 연동기 (Interlock Machine) 는 오염 또는 손상 위험이 감지 될 때 가스와 전기 공급을 처리합니다. 챔버 (chamber) 에는 챔버 도어가 열려 있고 키로 우회할 수 있는 도어 인터록 (door interlock) 스위치가 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 원자로는 또한 뛰어난 정밀도 및 반복 성을 제공하는 고급 제어 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 실시간 조정은 높은 유연성을 제공하며 공정 가스 (process gas) 와 기판 온도를 제어합니다. 또한 자동화된 이벤트 로깅 기능을 통해 품질 관리 및 원격 디버깅 (debugging) 기능을 지원합니다. 이 최첨단 AMAT 원자로는 다양한 필름과 재료의 증착에 최고의 성능, 정확성, 정밀도를 제공합니다. 원하는 제품에 맞게 조정할 수 있는 다양한 커스터마이징 가능 매개변수 (customizable parameter) 와 매개 변수 (parameter) 를 제공함으로써, 이 장치는 여러 응용프로그램 및 업계의 고품질 필름 증착을 용이하게 할 수 있습니다.