판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0290-20094 #9173620
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ID: 9173620
Vectra IMP chamber
P/N Description
0010-21831 B101 Heater
0010-02267 Vectra IMP adapter
0223-21783 Shutter kit
0010-13622 IMP Coil match
0010-13627 Bias match
0010-21669 G12 Source
0010-21676 Magnet
Includes:
HFV8000
CX600S
All harnesses
Water flow switches
Fittings.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0290-20094 원자로는 반도체 처리에 사용되는 혁신적이고 고급 도구입니다. 고유한 설계로 인해 AMAT 0290-20094 원자로는 고품질 (High Quality) 프로세스를 수행할 수 있는 향상된 기능을 제공하여 장치 성능을 최적화합니다. 컴퓨터 제어 2 챔버 디자인으로 구성된 고온 화학 증착 (CVD) 도구입니다. 첫 번째 챔버에는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 기질이 있으며 고온 온벽로 (hot-wall reactor) 가 장착되어 있습니다. 제 2 챔버 에는 "실레인 '과" 암모니아' 와 같은 원료 "가스 '가 들어 있는" 가스 박스' 가 들어 있었다. APPLIED MATERIALS 0290-20094 원자로는 저압 CVD 공정을 사용하여 기판 양쪽에서 뛰어난 균일성을 보장합니다. 이 과정은 핫 월 CVD (Hot Wall CVD) 원자로와 기판으로의 균일 한 열 전달로 인해 매우 정확하고 반복 가능합니다. 또한, 0290-20094 원자로는 자동화 된 CVD 작업을 위해 자동 웨이퍼 처리 및 프로그래밍을 통합하여 처리를 상당히 용이하게합니다. 또한 공정 모니터링 (process monitoring) 을 제공하여 필름의 온도, 가스 흐름 속도, 증착율을 최적화할 수 있습니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS 0290-20094 원자로는 강력한 성능 특성으로 인해 점점 인기를 끌고있는 다재다능한 CVD 도구입니다. 첨단 설계 기능을 갖춘 원자로 (Reactor) 는 탁월한 필름 증착제어 (film deposition control) 와 고성능 장치 제조에 필수적인 높은 공정 일관성을 제공합니다. AMAT 0290-20094 원자로는 안정적이고 효율적인 공구로, 다양한 기판 및 가스와 함께 사용되어 복잡한 프로세스를 촉진하고 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.
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