판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-73818-1 #9131586

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 0242-73818-1 원자로는 고속, 최첨단 집적 회로 (IC) 제조를 가능하게 하는 특수 기능을 갖춘 반도체 웨이퍼 처리 장비입니다. 원자로는 소형 시스템 플랫폼 (compact system platform) 으로 만들어졌으며, 자동화된 공정 챔버 (process chamber) 와 로봇 암 (robot arm) 장치를 사용하여 생산 실행의 복잡성을 최소화하면서 빠른 로드 및 언로드를 가능하게합니다. 원자로에는 독립적으로 조절 가능한 가스와 샤워 헤드 유닛이 장착 된 석영 공정 챔버 (quartz process chamber) 가 있습니다. 이 기능을 사용하면 광범위한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 설정하고 조정하여 특정 웨이퍼 (Wafer) 구성 프로세스에 대한 최적의 조건을 생성할 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 다양한 소형 열 스프레더 (Thermal Spreader) 가 포함되어 있어 정확한 제어를 통해 균일 한 처리 온도를 보장합니다. 또한, 원자로는 특허를받은 고주파 플라즈마 소스를 특징으로하며, 이를 통해 더 빠른 클리닝, 빠른 에칭, 더 높은 성능을 제공합니다. 원자로에는 내장 로봇 암 머신 (robot arm machine) 이 내장되어 있으며, 프로세스 챔버 안팎으로 웨이퍼를 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. "로봇 '암 은 완전 히 통합 된" 모션' 제어 도구 에 의하여 제어 되므로 "오퍼레이터 '가 공정 의 모든 부면 을 제어 하기 가 더 쉬워진다. 로봇 암 (robot arm) 은 모듈식이며, 다른 웨이퍼 및 IC에 대해 쉽게 사용자 정의할 수 있으므로 처리량을 높이고 생산성을 높일 수 있습니다. 또한, 고유한 6축 기능을 통해 프로세스 환경을 보다 유연하게 제어할 수 있습니다. 전반적으로 AKT 0242-73818-1 원자로는 빠르고, 정확하며, 효율적인 웨이퍼 제조 프로세스에 적합한 고급 원자로입니다. 독립 가스 및 쇼어 헤드 유닛, 열 스프레더, 특허를받은 고주파 플라즈마 소스, 내장 로봇 암 (robot arm) 자산 및 통합 모션 컨트롤 모델과 결합 된 자동 기능을 통해 대용량, 고품질 웨이퍼 생산에 이상적입니다.