판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-29971 #293656311
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0242-29971 Reactor는 다양한 반도체 재료 제작에 사용되는 고성능 도구입니다. 이 단일 웨이퍼 이온 이식 원자로는 뛰어난 균일 성, 용량 정확성 및 수율을 제공합니다. 원자로의 최대 이온화 빔 전류는 2.50 A이며, 멀티 링 디자인에 12 개의 독립적 인 이온 소스를 사용합니다. 최대 압력 10-4 Torr에서 작동하며 터보 속도 범위는 0 ~ 4,500 RPM이며 온도 범위는 100 ~ 500 ° C입니다. 또한 2 개의 고정밀 정렬 단계와 1-20 MeV의 조절 가능한 에너지 스캔 범위가 있습니다. AMAT 0242-29971 원자로는 효율적인 처리를 위해 고급 챔버 구성 요소 및 기능으로 설계되었습니다. 기판 홀더 어셈블리는 기판의 안전한 위치를 제공하는 스테인리스 스틸 폴 (stainless steel pole) 로 구성됩니다. 가스 및 유체 분포 패널은 다른 가스와의 도핑을 방지합니다. 상하 "가스 '도입 부품 은" 가스' 의 적절 한 전달 을 보장 하고, 투여 시간 을 최적화 하고, 균일 한 결과 를 보장 하는 데 도움 이 되는 최적화 된 공급 장치 를 갖추고 있다. 응용 재료 0242-29971 원자로에는 다양한 튜닝 구성의 10kW RF 전원도 있습니다. 그것 은 얇은 "필름 '을 빠르고 산출 할 수 있도록" 튜닝 패드' 를 격리 시켰다. 또한, 원자로에는 챔버 압력, 온도, 가스 흐름 및 이온 소스 전류를 측정 및 모니터링하는 여러 센서가 포함됩니다. 0242-29971 Reactor의 장점에는 신뢰할 수 있고 균일 한 처리 결과, 우수한 성능, 빠른 주기 시간, 최소 기판 손상이 포함됩니다. 이것은 다양한 까다로운 반도체 제작 프로세스에 이상적인 도구입니다.
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