판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-70935, 0240-70936 #9038984

AMAT 0240-70935 및 0240-70936 대용량 병렬 원자로는 처리 속도와 반복 가능성이 가장 높은 기판에 다양한 재료를 배치하기위한 특수 도구입니다. 일련의 평행 유동 원자로 (parallel flow reactor) 로 구축 된이 시스템은 패턴 된 기판뿐만 아니라 다양한 단일 또는 다중 계층 박막 (thin film) 을 평평한 기판에 빠르고 효과적으로 배치 할 수 있습니다. 저열량 설계 덕택에, 이 원자로는 다양한 두께, 크기, 해상도를 가진 고품질 필름을 생산할 수 있습니다. 또한, 이러한 모든 프로세스는 정확하고 온도가 낮은 챔버 (chamber) 환경에서 수행되며, 이는 결함 속도와 열 손상을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 원자로에는 대량 생산 및 연구 기반 실험을위한 응용 프로그램도 있습니다. APPLIED MATERIALS 0240-70935/70936 원자로에는 다양한 필름의 정확하고 반복 가능한 생산을 위해 컨트롤이 장착되어 있습니다. 시스템의 기본 요소는 이중 독립 질량 흐름 컨트롤러입니다. 이 컨트롤러를 사용하면 배치될 개별 레이어, 각 레이어의 두께, 필요한 온도 설정 (thickness of each layer) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 증착 과정을 위해, 원자로는 전기 열 화학 증기 증착 방법 ("정밀 전기 화학 증착" 이라고도 함) 을 사용한다. 이 과정은 스퍼터링 (sputtering) 또는 물리적 증기 증착 (physical vapor deposition) 과 같은 다른 방법보다 필름 특성의 정확도를 높입니다. 원자로의 공정 챔버 자체에는 증착 공정의 정확한 제어를 위해 4 방향 밸브, 진공 포트, 가스 인젝터 (gas injector) 가 장착되어 있으며, 고품질의 균일 한 침전물 만 만들 수 있습니다. 필름 특성을 항상 일관되게 유지하기 위해, 챔버 압력 (chamber pressure) 도 신중하게 조절된다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-70935/70936에는 증착 과정 전반에 걸쳐 안정적이고 반복 가능한 흐름 및 압력을 보장하는 자체 포함 정전기 팬 시스템이 있습니다. 프로세스의 정확한 모니터링을 돕기 위해 ROTM (Real-Time Online Thickness Monitor) 이 포함되어 정확한 필름 두께를 측정할 수 있습니다. 이러한 원자로는 또한 커스터마이징이 가능하며, 향후 확장을 위해 추가 구성 요소를 통합 할 수 있습니다. 예를 들어, 컨트롤러를 추가하여 에칭, 빠른 열 어닐링, 확장 에칭 프로세스를 조절 할 수 있습니다. 이러한 고려 사항을 고려하여 AMAT 0240-70935/70936 대용량 병렬 원자로는 단일, 독립형 프로세스 또는 통합 다중 모듈 시스템의 일부로 작동 할 수 있습니다. 이 원자로의 독특한 특징은 정확하고 온도가 낮은 환경에서 가장 높은 균일성, 두께, 해상도의 다양한 단일 (single) 또는 다중 계층 (multiplayer) 박막 (thin film) 을 배치하려는 사람들에게 완벽한 도구입니다.