판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0195-01314 #293640089

AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-01314는 반도체 제조 및 기타 산업에서 고성능 박막 코팅 응용 분야를 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 원자로는 전 세계 반도체, 디스플레이 및 관련 산업을위한 장비, 서비스, 소프트웨어 제공 업체 인 AMAT Inc. (AMAT Inc.) 에서 제조합니다. AMAT 0195-01314 모델은 뛰어난 필름 품질, 균일성 및 생산성을 제공하는 다용도 도구입니다. APPLIED MATERIALS 0195-01314의 원자로 챔버는 최적의 프로세스 성능과 깨끗함을 보장하기 위해 스테인리스 스틸 (stainless steel), 쿼츠 (quartz) 및 기타 고급 합금과 같은 고순도 재료로 구성됩니다. 이 챔버는 웨이퍼, 패널, 기타 평면 또는 3 차원 서피스 등 다양한 기판 크기와 구성을 수용하도록 설계되었습니다. 약실 에는 공정 대기 와 "가스 '의 흐름 분포 를 정확 하게 제어 하기 위해 여러 개 의" 가스' 흡입구 가 갖추어져 있다. 원자로에는 고온 가열 장비 (일반적으로 RF (radiofrequency) 또는 저항 가열) 를 장착하여 박막 증착에 필요한 공정 온도를 달성합니다. 가열 시스템 (heating system) 은 기판 표면에 걸쳐 뛰어난 온도 균일성을 제공하며, 일관된 필름 특성과 두께를 달성하는 데 중요합니다. 다른 필름 증착 공정 (film deposition process) 의 특정 요구 사항을 충족시키기 위해 원자로 온도 범위를 단단한 공차 내에서 제어 할 수 있습니다. 0195-01314 (0195-01314) 는 증착 중 공정 가스의 정밀한 계량 및 혼합을 가능하게하는 정교한 가스 전달 장치를 특징으로합니다. 가스 전달 기계에는 대량 유량 컨트롤러, 가스 라인, 밸브 및 기타 구성 요소 (가스 유속 및 조성물의 정확한 제어) 가 포함됩니다. 이 정확 한 "가스 '전달 능력 은 원하는" 필름' 조성, 화학량 및 증착률 을 달성 하는 데 필수적 이다. 원자로에는 복잡한 진공 공구 (vacuum tool) 가 장착되어 있어 필요한 공정 압력 조건을 달성하기 위해 챔버의 빠른 펌프 다운 (pump-down) 및 대피 (evacuation) 가 가능합니다. 진공 자산에는 증착 중 원하는 기본 압력 수준에서 챔버를 유지하기 위해 대용량 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump), 극저온 펌프 (cryogenic pump) 및 기타 진공 하드웨어가 포함됩니다. 진공 모델 (vacuum model) 은 오염을 최소화하고 고품질 필름 증착을위한 깨끗한 프로세스 환경을 보장하는 데 중요한 요소입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-01314의 제어 장비는 고급 소프트웨어/하드웨어 기술을 기반으로 실시간으로 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 제어 시스템에는 프로세스 최적화 및 문제 해결을 위한 프로세스 변수, 경고, 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 그래픽으로 표시하는 사용자에게 친숙한 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 장치는 또한 외부 Fab 제어 시스템과의 프로세스 레시피 관리, 자동화 및 연결을위한 고급 알고리즘을 제공합니다. 결론적으로, AMAT 0195-01314는 반도체 및 관련 산업에서 박막 증착을위한 고급 기능을 제공하는 최첨단 CVD 원자로입니다. 견고한 설계, 정밀한 공정 제어, 높은 신뢰성을 자랑하는 이 원자로는 고성능 코팅 (coating) 솔루션이 필요한 다양한 어플리케이션에 적합합니다. APPLIED MATERIALS (APPLIED MATERIALS) 는 반도체 산업의 발전하는 요구를 충족시키고 박막 증착 프로세스의 기술 발전을 촉진하기 위해 장비 오퍼링을 혁신하고 개선하고 있습니다.