판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0195-01037 #293759161
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-01037은 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 플라즈마 원자로입니다. "플라즈마 '원자로 는 집적 회로 및 기타 반도체 장치 의 제조 에 중요 한 요소 로서" 실리콘' "웨이퍼 '에 박막 을 증착 하고 식각 시키는 데 매우 중요 한 역할 을 한다. AMAT의 AMAT 0195-01037 모델은 고급 기술, 안정성 및 성능 기능으로 업계에서 인정받고 있습니다. APPLIED MATERIALS 0195-01037 원자로의 중심에는 혁신적인 플라즈마 생성 시스템 (RF (Radio Frequency)) 과 직류 (DC) 전원의 조합을 사용하여 공정 챔버 내부에 매우 활기찬 플라즈마 방전을 만듭니다. 혈장은 RF 에너지를 가스 혼합물 (일반적으로 수소, 헬륨, 아르곤 또는 산소와 같은 기체로 구성) 에 적용하여 생성되며, 이어서 분리 과정을 거쳐 기질 표면과 상호 작용하는 반응성 종을 형성한다. 이 혈장 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 공정은 뛰어난 균일 성과 필름 특성을 제어하는 박막 (thin film) 의 정확한 증착을 가능하게한다. 0195-01037 원자로는 가공하는 동안 존재하는 가혹한 화학 및 열 상태를 견딜 수 있도록 석영, 알루미늄, 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 같은 고순도 재료로 구성된 견고한 챔버 설계를 특징으로합니다. 챔버에는 고급 가스 전달 시스템, 온도 조절 메커니즘, 프로세스 모니터링 센서 (monitoring sensor) 가 장착되어 안정적이고 반복 가능한 처리 조건을 보장합니다. 또한, 원자로는 증착 또는 에칭 공정 전반에 걸쳐 실리콘 웨이퍼의 정확한 위치 및 이동을 가능하게하는 정교한 웨이퍼 처리 시스템 (wafer handling system) 을 통합합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-01037 원자로의 주요 강점 중 하나는 광범위한 공정 화학 물질 및 필름 증착 기술을 수용하는 다재다능성입니다. 질화 "실리콘 ', 이산화규소, 탄화" 실리콘' 또는 금속 "필름 '에 대하여, 원자로 는 서로 다른 반도체 공정 의 특정 한 요구 조건 에 달하도록 쉽게 구성 되고 최적화 될 수 있다. 또한, 시스템의 소프트웨어 제어 인터페이스 (Software Control Interface) 를 통해 운영자는 프로세스 매개변수를 세밀하게 조정하고, 프로세스 데이터를 실시간으로 모니터링하며, 프로세스 레시피를 최적화하여 성능 및 수익률을 높일 수 있습니다. 성능 측면에서, AMAT 0195-01037 원자로는 높은 처리량을 제공하여, 동시에 여러 웨이퍼를 효율적으로 처리할 수 있습니다. 필름 두께, 균일성 및 조성에 대한 원자로의 정확한 제어는 고급 논리 및 메모리 장치 제작, 광전자 공학 및 MEMS (microelectromchanical systems) 제조와 같은 반도체 업계의 까다로운 응용 분야에 이상적입니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 0195-01037 플라즈마 (Plasma) 원자로는 최첨단 기술, 안정성 및 성능을 결합하여 반도체 산업의 진화하는 요구를 충족시키는 최고의 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 이 원자로는 견고한 설계, 다용도 기능, 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 전 세계 반도체 제조 시설에서 프로세스 혁신 및 생산성 표준을 계속 설정하고 있습니다.
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