판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 019009275 / 019009272 #293658103

AMAT 019009275 (photoresist asher) 및 APPLIED MATERIALS 019009272 (photoresist etcher) 는 업계 표준 300mm (12 인치) 웨이퍼에서 반도체 장치 생산에 사용되는 원자로입니다. 이 원자로는 고온과 정밀한 공정 제어 (process control) 를 사용하여 첨단 칩 제작에 사용되는 재료를 청소하고 에치합니다. 019009275 photoresist asher는 반도체 웨이퍼에서 photoresist를 제거하는 데 사용되는 단일 웨이퍼, 대기 압력 산화 asher입니다. 대용량 "가스 '유통장비를 갖추고 있어 챔버 전체에 균질한 동질적인 가동 분위기를 보장한다. 실리콘 챔버는 고온, 직접 적재, 강제 대류 시스템을 사용하여 더 빠른 고온 처리를 가능하게합니다. 또한 처리 전에 기판을 자동으로 예열하여 열 스트레스를 줄일 수 있습니다. 019009272 포토 esist etcher는 단일 웨이퍼, 정전기 초점, 고 진공 에치 원자로입니다. 이온 임플란테이션 (ion implantation) 에 대비하기 위해 기판 표면에서 포토 esist를 제거하고 집적 회로 제작을위한 패턴을 형성한다. 이 "가스 '는 균일 한" 가스' 분배 장치 로서 동질 의 동질 대기 를 보장 하고, 보다 효율적 인 "가스 '전달 을 위한 강제 대류 전달 장치 를 갖추고 있다. 이 챔버에는 냉각 핀 홀더 (cooling-pin holder) 가 있어 웨이퍼 온도를 유지하고 에치 속도와 균일 성을 제어하는 데 도움이 되는 동적 기판 바이어스가 있습니다. 두 프로세스 모두 자동화된 실시간 프로세스 모니터링 (Real-Time Process Monitoring) 기능을 통해 여러 웨이퍼에 걸쳐 프로세스 균일성을 보장하고, 실행 중인 프로세스에 대한 고급 진단 기능을 제공합니다. 프로세스 종점 탐지 도구는 또한 ARC (Antireflective Coating) 분해를 줄이는 데 도움이되고, 에치 후 청소 자산은 웨이퍼 표면의 산화물 잔기를 줄이는 데 도움이됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 019009275 및 019009272는 반도체 웨이퍼 처리를 위해 안정적이고 균일하며 효율적인 플랫폼입니다. 그들은 칩 제조를위한 신뢰할 수있는 고출력 제조 공정을 제공하여 하이테크 칩 (high-tech chip) 제조에 이상적입니다.