판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22355 Rev.003 #9204716

AMAT 0190-22355 Rev.003은 진공 시스템에서 주로 사용하도록 설계된 원자로입니다. 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 있으며 최대 10-6 토르의 압력을 처리 할 수 있습니다. 원자로의 반응 챔버는 원통형이며, 진공 타이트한 O- 링 (O-ring) 인장이 장착 된 스레드 연결을 통해 외부에서 밀봉된다. 원자로에는 한쪽에 2 개의 포트가 장착되어 있으며, 여기에는 가스와 가열 된 기화 된 물질을 반응 챔버에 도입하는 데 사용되는 3K 플랜지가 포함되어 있습니다. 원자로 반응 챔버 (reaction chamber) 에는 내부에 균일 한 온도를 유지하기 위해 절연 물질이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 고온 전로를 사용하여 25 ° C 의 실내 온도 (최대 1000 ° C) 에 이르는 다양한 온도로 작업 할 수 있습니다. 원자로는 질량 분석기, 가스 크로마토그래프, 광학 방출 분광계 (optical emission spectrometer) 와 같은 다른 분석 기기와 직접 연결되어 완전한 기능적인 진공 과정을 만들 수 있습니다. 원자로의 절연 물질에는 플라스틱 코팅 석영판이 들어 있습니다. 판은 원자로를 둘러싼 2 개의 동심 코일을 사용하여 전기적으로 가열된다. 이것 은 반응 "챔버 '의 균질 한 가열 을 보장 해 주며, 온점 이 있음에도 불구하고 전체" 챔버' 에 균등 한 온도 를 만든다. 원자로 에는 또한 가열 된 증기, "가스 '및 물질 퇴적물 로부터 원자로 를 보호 하는 산화" 알루미늄', "티타늄 '코팅 석영, 흑연 및 질화 붕소 의 작동 벽 이 들어 있다. 원자로는 실레인, 염소, 불화 수소와 같은 여러 물질을 처리 할 수 있습니다. 또한 산화 (oxidation) 및 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 같은 여러 가지 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 챔버 (chamber) 는 최소 크기 요구사항이 없으며 매우 조절 가능합니다. 즉, 사용자는 응용 프로그램에 맞게 크기와 모양을 제어 할 수 있습니다. 대략적인 가용 용량은 0.5 ~ 2 리터입니다. 원자로에는 온도 조절 (temperate control) 기능이 장착되어 있어 챔버 내부의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 전체적으로 APPLIED MATERIALS 0190-22355 Rev.003은 다양한 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 고가용성 원자로입니다. 조절 가능한 챔버, 균질 한 온도 제어, 다중 재료 호환성 (Multiple Material Compatibility) 은 진공 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.