판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-19865 #293756239

일반적으로 원자로라고하는 AMAT/APPLIED MATERIALS 0190-19865는 반도체 제조 공정에 사용되는 정교하고 다양한 도구입니다. 이 특수 도구는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 및 PVD (Physical Vapor Deposition) 와 같은 다양한 증착 프로세스를 수행하여 집적 회로 및 기타 고급 전자 장치 생산에 필요한 재료의 박막이있는 반도체 기판을 코팅하도록 설계되었습니다. 원자로 (reactor) 는 얇은 필름의 증착에 기여하는 통제 환경을 유지하는 고성능 진공실을 특징으로합니다. 이 진공실 에는 일반적 으로 가열 "요소 '가 갖추어져 있어 증착 과정 중 에 기질 의 온도 를 정확 하게 조절 한다. 온도 조절은 전체 기판 표면에 균일한 필름 두께 및 재료 특성을 달성하는 데 중요합니다. AMAT 0190-19865 원자로의 주요 구성 요소 중 하나는 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 으로, 전구체 가스의 흐름을 조절하는 질량 흐름 제어기와 밸브로 구성됩니다. 이러 한 전구체 "가스 '는 증착 과정 에 필수적 이며, 박막 에 필요 한 재료 성분 에 따라 선택 된다. "가스 '전달" 시스템' 은 "가스 '를 정확 하게 혼합 하고 분배 하여 원하는 필름 의 특성 을 달성 하도록 한다. 원자로는 또한 플라즈마 강화 CVD (PECVD) 와 같은 특정 증착 과정에서 플라스마를 생성하는 데 사용되는 고출력 무선 주파수 (RF) 발생기를 특징으로합니다. "플라즈마 '는 전구체" 가스' 사이 의 화학 반응 을 촉진 시켜 "필름 '증착 과정 을 향상 시키며, 그 결과" 필름' 의 질 과 균일성 이 향상 된다. RF 생성기는 챔버의 가스를 이온화하는 고주파 전기 신호 (high-frequency electrical signal) 를 생성하여 플라즈마 (plasma) 를 형성 할 수있다. 증착 과정을 모니터링하고 제어하기 위해 APPLIED MATERIALS 0190-19865 원자로에는 고급 공정 제어 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 운영자가 증착율, 필름 두께, 가스 흐름 속도 등의 매개변수를 설정하고, 프로세스 성능에 대한 실시간 데이터를 모니터링할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 증착 과정에서 발생할 수 있는 모든 문제를 해결하기 위한 진단 도구 (Diagnostic Tools) 를 제공하여 일관되고 재현이 가능한 필름 품질을 보장합니다. 원자로 는 증착 능력 외 에도 "플라즈마 에칭 '과 화학" 에칭' 과 같은 "에칭 '과정 을 위해 구성 될 수 있으며, 기판 에 있는 특징 들 을 무늬 로 하고 정의 할 수 있다. 반도체 제조업체는 원자로의 다재다능성 (versitility of the reactor) 을 통해 단일 도구 내에서 광범위한 공정을 수행할 수 있으며, 반도체 장치 제작의 생산성과 효율성을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로, 0190-19865 원자로는 반도체 제조에서 정교하고 필수적인 도구이며, 박막 증착 공정을 정확하게 제어하고, 고품질 집적회로 및 전자 장치의 생산을 가능하게합니다. 첨단 프로세스 제어 소프트웨어 (State-of-art process control software) 와 결합된 고급 기능을 통해, 제조 공정에서 최적의 성능과 신뢰성을 달성하려는 반도체 제조업체의 귀중한 자산입니다.