판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0100-00396 #293655169

AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-00396 원자로는 다양한 기판에서 박막 증착을 효율적이고 정확하게 처리하도록 설계된 고급 대규모 반도체 처리 도구입니다. 이 원자로는 고급 클러스터링 아키텍처 (Advanced Clustering Architecture) 를 통해 주변 환경에 대한 탁월한 처리 성능과 정확한 제어 기능을 제공하여 증착률 (Deposition Rate) 과 균일성 (Uniformity) 을 정확하게 제어합니다. 이 장비에는 통합 가스 흐름 압력 제어, 자동 증착 제어 (automatic deposition control) 가 장착되어 있으며 최대 4 개의 공정 챔버를 수용 할 수 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 여러 기질의 대량 생산을 촉진하고 안정적이고 균일 한 제조 조건을 제공하기 위해 설계되었습니다. 원자로의 최대 온도 범위는 최대 400 ° C이며, 산화 및 에칭을 가능하게한다. 그것 은 두께 의 확산 을 최소화 하고, 낮은 거칠기 - "박막 '의 증착 을 위한 최적 의 제조 조건 - 를 제공 하면서" 기판' 에 높은 물질 을 적재 할 수 있다. 또한, 원자로에는 에칭으로 인한 물질 손실을 최소화하기 위해 고급 탄소 에칭 기술이 포함되어 있습니다. AMAT 0100-00396 에는 시스템 내 기판의 적재 및 언로드를 최적화하기 위해 설계된 다른 프로세스 홀더 (process holder) 가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 특수 가스 분배 머신 (gas distribution machine) 을 특징으로하여 박막의 열적, 물리적 증발에 대한 정확한 압력 조절, 균질 한 온도 및 균일 한 공정 증착 속도를 허용합니다. 정밀한 로봇 암 (robotic arm) 과 스텝 모터 (step motor) 를 포함하는 기판 전달 도구는 각 프로세스 단계에 대한 정밀한 파라 메트릭 제어를 가능하게합니다. 자산에는 OES (Optical Emission Spectroscopy) 모델, QMRS (Quartz Micro-Raman Spectroscopy) 장비, MPA (Mechanical Property Analyzer) 및 SRA (Surface Rheology Analyzer) 를 포함한 다양한 계기가 장착되어 있습니다. 이 기기 (instruments) 는 시스템에서 수행되는 프로세스의 정확한 활용도 및 평가를 가능하게 하며, 최적의 결과를 위해 프로세스 (process) 나 원자로 (reactor) 매개변수를 조정하거나 수정하는 데 사용할 수 있는 데이터를 제공합니다. 응용 자료 0100-00396 (APPLIED MATERIALS 0100-00396) 은 다양한 기판에서 박막 증착을 생산하기위한 고급 도구입니다. 반도체 장치, 태양광 전지와 같은 까다로운 제조 응용 분야에 이상적입니다. 이 장치는 균일성 (unifority), 정밀도 (precision) 및 고수율용으로 설계되었으며, 모든 고급 반도체 처리 요구에 이상적인 선택입니다.