판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-91033 #9191230
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-91033 원자로는 반도체 제조 산업에서 중요한 구성 요소로, 실리콘 웨이퍼 기판에서 박막 증착을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 원자로는 첨단 기술을 활용하여 정확하고 효율적인 필름 증착 (film deposition) 과정을 수행하는 고성능 시스템입니다. AMAT 0090-91033 원자로의 주요 기능은 다재다능한 설계로, 다양한 필름 증착 요구사항을 수용할 수있는 여러 프로세스 변형을 허용합니다. 공정 매개변수 (예: 온도, 압력, 가스 유속, 플라즈마 전력) 를 정확하게 모니터링, 조정할 수 있는 정교한 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이 수준의 제어는 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에서 균일 한 필름 두께와 품질을 보장하는 데 필수적입니다. APPLIED MATERIALS 0090-91033의 원자로 챔버는 화학적 부식 및 오염에 강한 고품질 물질로 구성됩니다. ··· 이것 은 증착 과정 의 순도 를 유지 하고, 퇴적 된 "필름 '의 무결성 을 보장 하는 데 중요 하다. 이 챔버 (Chamber) 에는 고급 가스 분배 시스템 (Gas Distribution Systems) 이 장착되어 웨이퍼 표면에 균일 한 가스 흐름 및 분배를 보장하여 일관된 필름 특성을 제공합니다. 0090-91033 원자로에서 사용되는 주요 기술 중 하나는 PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 입니다. 이 과정 은 "플라즈마 '환경 에서 전구체" 가스' 를 분리 시켜 얇은 "필름 '을" 웨이퍼' 표면 에 증착 시킨다. 원자로에서 생성 된 플라즈마 (Plasma) 는 반응성 향상 및 증착 과정 제어 (Control of deposition process) 를 가능하게하여 필름 품질과 균일성을 향상시킵니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-91033 원자로의 또 다른 중요한 기능은 빠른 열 처리 (RTP) 기능입니다. "RTP '는 증착 과정 중 에" 웨이퍼' 기판 을 재빨리 가열 하고 식히는 데 사용 되는 기술 로서, 빠른 "필름 '의 성장 과 개선 된 물질 특성 을 허용 한다. 원자로에는 고도의 난방 장치 (heating and cooling system) 가 장착되어 있어 단기간 내에 정밀한 온도 조절이 가능하며, 높은 처리량과 효율성을 제공합니다. 또한 AMAT 0090-91033 원자로는 손쉬운 유지보수 및 서비스 용이성을 제공하도록 설계되었으며, 청소 및 교체를 위해 쉽게 액세스할 수 있는 구성 요소를 갖추고 있습니다. 원자로의 장기적 성능· 신뢰성을 보장하고, 기탁된 필름의 오염과 결함을 방지하는 데는 "정기적인 유지보수 (regular maintenance) '가 필수적이다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 0090-91033 원자로는 반도체 제조에서 박막 증착을위한 고급 기능을 제공하는 최첨단 시스템입니다. 다재다능한 디자인, 정확한 제어 시스템, 고급 증착 기술 (Advanced Deposition Technologies), 손쉬운 유지 관리 기능을 통해 고품질 필름을 균일한 속성으로 달성하는 데 필수적인 도구입니다. 공정 제어와 품질이 가장 중요한 업계에서, 0090 ~ 91033 원자로는 반도체 제작의 까다로운 요구사항을 충족시키기 위한 안정적이고 효율적인 솔루션으로 주목받고 있습니다 (영문).
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