판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-35112 #293746255

ID: 293746255
ESC Assembly Size: 195 mm Simple cathode.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-35112는 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 플라즈마 원자로 장비입니다. 이 고성능 도구는 박막 (Thin Film), 에칭 패턴 (Etching Pattern) 및 나노 스케일 (Nanoscale) 의 재료 특성 수정을위한 제어 환경을 제공하여 집적 회로 제작에 중요한 역할을합니다. 원자로 핵심에는 정교한 플라즈마 생성 챔버 (plasma generation chamber) 가 있는데, 반응성 가스가 에너지화되어 플라즈마 방전을 만듭니다. 이 "플라즈마 '는 기질 물질 의 표면 과 상호작용 하는" 이온', 전자, 중성 종 이 혼합 된 고도 의 이온화 된 "가스 '로 구성 되어 다양 한 표면 변형 과정 이 가능 하다. AMAT 0090-35112 원자로는 가공하는 동안 챔버가 원하는 압력으로 유지되도록 강력한 진공 시스템을 갖추고 있습니다. 이 진공 환경 은 오염 물질 을 제거 하고, 퇴적 된 "필름 '의 순도 를 보장 하는 데 필수적 이다. 이 장치는 또한 공정 가스의 구성 및 유량을 정확하게 조절하기 위해 고급 가스 전달 (advanced gas delivery) 및 흐름 제어 (flow control) 메커니즘을 갖추고 있습니다. 원자로의 주요 구성 요소 중 하나는 RF (radio-frequency) 전원으로, 플라즈마 방전을 생성하고 유지하는 데 사용됩니다. RF 전원은 필름 증착, 에칭 (etching), 서피스 클리닝 (surface cleaning) 과 같은 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 플라즈마 특성을 최적화하기 위해 신중하게 조정됩니다. 원자로는 또한 기판 표면에 걸쳐 플라즈마 균일 성 (plasma uniformity) 및 에너지 분포를 조정하기위한 여러 전극 구성을 갖는다. 원자로 내 온도 조절 기계 (temperate control machine) 는 처리 중 기판 온도의 정확한 변조를 가능하게한다. 이 기능은 필름 품질, 접착 및 스트레스 수준을 최적화하는 데 중요합니다. 이 공구는 화학 증기 증착 (CVD) 공정을 위해 기질을 고온으로 가열하거나 물리적 증기 증착 (PVD) 응용을 위해 식힐 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 에는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능이 장착되어 있어 일관되고 안정적인 성능을 보장합니다. 실시간 진단, 플라즈마 분광법 (Plasma Spectroscopy) 및 종단점 감지 (Endpoint Detection) 기능을 통해 운영자는 프로세스 매개변수를 모니터링하고 즉석에서 조정하여 고품질 필름 특성을 유지할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 0090-35112 원자로는 확장성과 다재다능성을 염두에 두고 설계되어 있어 기존 반도체 제조 워크플로우에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 자산은 다양한 기판 크기와 재료를 수용할 수 있으며, 이는 논리 장치 (logic devices), 메모리 장치 (memory devices), 고급 포장 기술 (advanced packaging technologies) 등 반도체 업계의 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 전반적으로, 0090-35112 원자로는 반도체 제작을위한 최첨단 솔루션으로, 정밀 제어, 고급 프로세스 기능, 강력한 성능을 결합하여 최신 집적 회로 생산의 까다로운 요구 사항을 충족시킵니다.
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