판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-03467 #293649904

AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-03467 Showerhead Reactor는 다양한 목적으로 박막 증착을 위해 설계된 혁신적인 기술 장비입니다. 원자로 (reactor) 는 동봉 된 가공 챔버로 덮인 상부 및 하부 쇼 헤드 형상으로 구성됩니다. AMAT 0090-03467은 넓은 처리 영역, 향상된 프로세스 균일성 및 향상된 흐름 역학을 특징으로합니다. 상부 샤워 헤드 (showerhead) 에는 동적 가스 흐름이 하부 샤워 헤드 (showerhead) 로 분배 될 수있는 원형 가스 전달 팁 배열이 포함되어 있습니다. 가스 전달 팁 (gas delivery tip) 은 공정 영역 전체에서 균일 한 가스 흐름을 제공하면서 부식 물질에 저항하도록 설계된 최상위 재료 (top tier material) 로 구성됩니다. 이 팁은 우발적 인 제거를 방지하도록 설계된 고정 링 (retaining ring) 에 의해 고정됩니다. 하부 쇼 헤드 (showerhead) 는 파우더 소스를위한 여러 개별 슬롯을 포함하는 프레임으로 구성됩니다. "슬롯 '들 을 조정 할 수 있어서 여러 가지 재료 증착 과정 에 대하여" 파우더' 원 을 미세 하게 조정 할 수 있다. 하부 쇼어 헤드 (showerhead) 내에 입구 인젝터가 들어 있으며, 이는 박막 증착 과정을 돕는 반응성 가스 (reactive gase) 를 도입 할 수있다. 동봉 된 처리 챔버에는 상단 및 하단 샤워 헤드 형상이 있습니다. 고온 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되었으며, 처리 실 내에서 우수한 온도 제어를 위해 열 효율적인 절연 시스템을 갖추고 있습니다. 가공 챔버 (processing chamber) 의 벽에는 석영이 늘어서 있는데, 이를 통해 RF 에너지를 챔버로 전송하고 필요에 따라 기판에 전달할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 0090-03467 Showerhead Reactor는 실리콘, 유리, 금속 등 다양한 기판에 얇은 필름을 입금하는 데 사용될 수 있습니다. 박막은 박막 태양 전지, 광학 코팅, 마모 방지 코팅, 전도성 필름 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 또한 연구자, 엔지니어, 제조업체가 박막 (thin film) 을 빠르고 안정적으로 배치 할 수 있도록 사용자 친화적이고 비용 효율적인 도구로 설계되었습니다.