판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-75950 #293660498
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-75950은 고품질 박막 재료를 기판에 배치하도록 설계된 단일 구역 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 원자로는 탄력적이고 내구성 있는 유전체 박막 (예: 전자 제품, 에너지 저장 장치, 광학 용도) 의 증착에 특히 적합합니다. 이 CVD 공정은 열 또는 플라즈마 에너지를 통해 증착 될 기질 위에 반응물 가스의 증기 구름 (vapor cloud) 을 생성하는 것을 포함한다; 이 증기 구름은 응축되고, 얇은 필름 코팅을 형성하는 기질에 부착된다. AMAT 0041-75950은 수평 스타일의 열 CVD 원자로이며, 가스 공급 라인, 난방 장비, 가스 흐름 조절기 및 가스 센서, 원자로 챔버 중앙의 증착 구역이있는 수평 스타일의 열 CVD 원자로입니다. 단일 존 (zone) 설계에는 유압식 작동 리프트 도어가 포함되어 있으며, 이는 샘플 챔버 및 오염되지 않은 환경을위한 낮은 접촉 표면적을 제공합니다. 챔버는 재순환 저난류 가스 흐름을 사용하여 증착 지역에 균일성을 보장합니다. APPLIED MATERIALS 0041-75950의 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 1-10 Torr의 압력 범위로 평가되며 부식 저항을위한 스테인리스 스틸입니다. 기판 보유자는 0 - 1000 ° C의 온도까지 전기적으로 가열됩니다. 적외선 피로미터 (pyrometer) 를 사용하여 정확한 강착 속도와 레이어 두께를 보장하기 위해 온도율을 모니터링합니다. 0041-75950 은 낮은 유지 보수 요건으로 인해 높은 처리 처리량 (high process throughput) 과 향상된 구성 요소 수명을 위해 설계되었습니다. 즉, 유지 보수가 필요하기 전에 최대 8 시간 동안 계속, 중단되지 않도록 설계되었습니다. 자동 셔터 시스템 (Automatic Shutter System), 배기 장치 (Exhaust Unit) 및 내장 챔버 스크레이프 머신 (Camber Scrape Machine) 을 포함하여 다양한 안전 기능이 제공되어 챔버 벽에 세워진 증착 재료를 수집합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-75950 은 박막 재료를 고품질 및 효율적으로 배치할 수 있도록 설계되어 있어 전자, 에너지 저장 장치, 광학 시스템 생산에 적합합니다. 이 1 구역 CVD 원자로는 박막 증착에 매우 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 옵션입니다.
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