판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-86 Rev.002 #293676279
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AMAT 0040-86 Rev.002 Reactor는 고급 다중 프로세스 반도체 장비입니다. 원자로 (Reactor) 는 태양광 장치 및 회로를 제작하기 위한 다양한 기능을 사용자에게 제공하도록 설계되었습니다. 원자로 (Reactor) 는 매우 효율적인 공정 제어 시스템 (Process Control System) 으로 제작되었으며, 다양한 레시피를 통해 사용자가 프로덕션 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 원자로는 7 개의 독립적으로 제어 할 수있는 증착 소스를 포함하는 고급 빔라인 형상으로 제작되었습니다. 이 빔라인 형상은 증착 프로세스에 대한 전례없는 제어 수준을 제공합니다. 이 형상의 고급 정밀도 (Advanced accuracy) 는 또한 생성된 필름의 두께와 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 원자로 는 "실리콘 '과" 게르마늄' 을 포함 하여 광범위 한 물질 을 처리 할 수 있다. 또한 구리 (copper) 와 알루미늄 (aluminum) 을 포함한 다양한 금속과 합금을 증착 할 수 있습니다. 산화물의 증착은 아연 산화물 (Zinc Oxide), 갈륨 아르 세 라이드 (Gallium Arsenide) 및 실리콘 니트 라이드 (Silicon Nitride) 를 포함한 원자로에서도 가능하다. 또한, 원자로는 또한 폴리 이미 드 (Polyimide) 및 퍼플 루오 로시 클로 부탄 (Perfluorocyclobutane) 과 같은 다양한 유기 물질을 퇴적시킬 수있다. 원자로는 또한 증착-에치 사이클 (deposition-etch cycle) 을 수행하여 참호, 비아 및 기타 구조물과 같은 기능을 생성 할 수있다. 이 프로세스는 빠른 프로세스 사이클과 다른 재료를 동시에 배치하고 에치 (etch) 하는 기능 때문에 매우 효율적입니다. 이 프로세스를 통해 복잡한 단일 계층 및 다중 계층 반도체 구조를 구성 할 수 있습니다. 원자로 내에 포함된 고급 공정 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 을 사용하면 작업 중에 운영 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 증착 과정을 빠르고 정확하게 조정하여 원하는 필름 (film) 과 구조를 생성할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 문제를 진단하고 프로세스를 수정할 수 있습니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS 0040-86 Rev.002 Reactor는 사용자의 편의를 위해 다양한 기능으로 제작되었습니다. 원자로에는 조절 가능한 플랫폼 랙, 조절 가능한 가스 라인, 조절 가능한 온도 컨트롤러 (temperature controller) 가 포함되어 있어 증착 정확도가 가장 높습니다. 또한, 이 시스템에는 프로세스 데이터의 작동, 저장, 분석을 위한 온보드 컨트롤러 (On-Board Controller) 와 원격 액세스를 위한 통합 LAN (Local Area Network) 이 있습니다.
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