판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-70247 #9225693

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-70247은 고급 나노 스케일 장치 제조를 위해 설계된 단일 웨이퍼, 단일 챔버, 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 원자로는 뛰어난 균일성, 반복성, 확장성으로 기판의 유전체 및 기타 고급 재료의 성장을 가능하게합니다. AMAT 0040-70247 원자로에는 공정 가스의 지속적인 흐름을 허용하는 기계적으로 설계된 단일 챔버가 있습니다. 이 유연한 디자인은 초박막 제조를 위해 고온 균일성으로 단일 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. 원자로에는 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수있는 ENEZ-1 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이러한 고온은 쌓인 유전층, 평면화 층 (planarization layer) 과 같은 복잡한 재료 레이어를 증착 할 수 있습니다. 원자로는 또한 우발적 인 추진제 누출 또는 입자 오염을 방지하는 공정 연동 안전 시스템 (process-interlock safety system) 을 특징으로하여 다른 웨이퍼 유형의 안전한 처리를 보장합니다. 또한 APPLIED MATERIALS 0040-70247은 뜨거운 공정 가스 분사 orifice 및 증착 속도 제어 기능을 통해 정확한 온도 독립적 가스 분포를 보장합니다. 이 장치에는 완전 자동 (Fully Automated) 방식의 장비 설정이 포함되어 있으므로 여러 추적 모드를 사용하여 반복 가능성과 일관성 (Consistent Performance) 을 보장합니다. 0040-70247 원자로는 추가 재료 표 (Table of Additional Materials) 를 제공하여 다양한 재료의 성장을 위해 다른 공정 가스 (process gase) 를 가능하게하므로 기판에서 초박층 생산이 가능합니다. 또한, 폴리 콜드 웨이퍼 (Poly-cold Wafer) 와 높은 진공 모드 기능을 통해 다양한 에치 레이트를 가진 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-70247 CVD 원자로 (CVD Reactor) 는 최첨단 나노 스케일 디바이스 제작 프로세스의 요구 사항을 충족하도록 설계된 견고하고 다양한 기계입니다. 최적의 프로세스 제어, 높은 열 균일성, 정확한 가스 분포, 최고의 반복 능력 및 고급 안전 도구를 제공합니다.