판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-36180 Rev 001 #293676207

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-36180 Rev 001은 강제 대류 및 간접 가열 기술을 사용하여 최적의 프로세스 균일성, 반복성 및 온도 제어를 달성하는 최첨단 열 원자로입니다. 이 원자로는 +/-1.0C의 온도 균일성과 +/-0.1C의 안정성으로 섭씨 253 ~ 1351도 (C) 의 온도 범위를 처리 할 수 있습니다. 또한 최대 150mbar까지 조절 할 수있는 최대 가스 유량 (45 L/min) 을 제공합니다. 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 알루미늄 합금 (aluminum alloy) 으로 구성되고 성능 최적화를 위한 단열재는 안정적이고 장기적인 솔루션을 원하는 사용자를 위해 설계되었습니다. 원자로에는 ATPC (Automatic Temperature/Pressure Control), 실시간 데이터 모니터링 및 저장, 특허 난방 및 냉각 기술 등의 고급 기능이 장착되어 있습니다. ATPC 는 챔버 (chamber) 가 최적의 온도 및 압력 상태에서 유지되도록 하고, 실시간 데이터 모니터링 (data monitoring) 및 스토리지 (storage) 를 통해 각 스캔 기록을 보관할 수 있습니다. 특허를 획득한 난방 (heating) 및 냉각 (cooling) 기술을 통해 운영 온도에 도달하는 데 필요한 시간을 줄일 수 있으며, 각 사이클의 시작 (start) 에 대한 냉각 시간을 최소화할 수 있습니다. 원자로에는 별도의 난방 (heating) 캐비닛과 냉각 (cooling) 캐비닛이 포함되어 있어 다양한 공정 유형을 처리 할 수 있습니다. 원자로의 성능을 더욱 향상시키기 위해 AMAT 0040-36180 Rev 001에는 선택적 액세서리 및 서비스가 포함되어 있습니다. 여기에는 가스 전달 시스템, 필터 시스템, 가스 혼합 시스템, 데이터 수집 시스템 및 소프트웨어가 포함됩니다. 이러한 구성요소를 모두 결합하여 원활한 워크플로우 (workflow) 를 보장하여 프로세스의 효율성과 성능을 극대화할 수 있습니다. 또한, 이 원자로는 쉽게 접근 및 유지 보수하도록 설계되었습니다. 도어 (door) 와 상단 (top) 덮개가 개별적으로 열려 컴포넌트의 내부 부품과 검사를 클리닝할 수 있습니다. 또한, 원자로에는 우발적 개방을 방지하기 위한 안전 잠금 장치 (Safety Lock Mechanism) 와 운영 담당자에게 모든 문제 해결 요구에 대해 경고하기 위한 내장 LED 시스템 (내장 LED 시스템) 이 장착되어 있어, 많은 프로덕션 어플리케이션에 적합한 선택입니다.