판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-04542 Rev.001 #293676290
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AMAT 0040-04542 개정 001 원자로는 화학 증기 증착 (CVD) 에 사용되는 고정밀 다기능 기계입니다. 이 CVD 원자로는 다양한 박막 증착 공정 (Thin-film deposition process) 을 위해 설계되었으며, 매우 효율적이고 다재다능한 여러 기능을 자랑합니다. 원자로에는 고급 소스-인레이 (source-inlay) 프로세스가 있으며, 이는 고품질 필름에 균일 한 증착률을 제공합니다. CVD 챔버 (CVD chamber) 는 고온에서 안정된 독특한 재료로 구성되어 장수와 일관성을 제공합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 또한 더 빠른 열 처리를 위해 온도 조절 환경이 있으며, 백만 개당 10 개 미만의 누출 률이 매우 낮습니다. 원자로에는 독점적 인 우회 냉각 장비 (bypass cooling equipment) 가 추가로 장착되어 있으며, 이는 전력 소비를 줄이고 필름 품질을 향상시키기 위해 챔버의 열 전달을 증가시킵니다. 최고의 안전 표준을 보장하기 위해 APPLIED MATERIALS 0040-04542 Reactor (응용 프로그램 물질 0040-04542 원자로) 는 프로세스 상태를 감지하고 식별 할 수있는 내장 제어 및 모니터링 시스템과 함께 작동합니다. 원자로의 소프트웨어는 온도, 압력, 유속 (flow rate) 등 증착 과정의 다양한 매개변수를 모니터링하고 조정하기 위해 모니터링 시스템 (monitoring system) 으로 설정됩니다. 원자로에는 불순물, 막힘 (clogs) 또는 기타 문제를 감지할 수 있는 내장 센서 시스템 (Bist-In Sensor System) 이 내장되어 있어 사용자가 문제를 해결하거나 프로세스에 필요한 변경 사항을 해결할 수 있습니다. 원자로의 제어 장치 (Control Unit) 는 다양한 범용 컴퓨터와 연결되어 실시간으로 CVD 프로세스에 대한 포괄적 인 개요를 제공합니다. 이 시스템을 사용하면 배치 (deposition) 또는 냉각 주기 시작 (cooling cycle), 프로세스 매개변수 설정 (setting process parameters) 또는 상태 조정 (status adjustment) 과 같은 다양한 원격 명령을 수행할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-04542 Reactor에는 반자동 수동 동작 옵션과 완전자동 동작 옵션이 포함되어 있습니다. 전반적으로 AMAT 0040-04542 원자로 (Reactor) 는 박막 증착 기술의 현재 요구를 충족시키는 탁월한 도구입니다. 이 모듈식 CVD 원자로는 매우 정밀하고, 자동화된 (automated) 제어 및 포괄적인 데이터 분석 기능을 제공합니다.
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