판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-02955 #293658139

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-02955 Reactor는 다양한 증착 및 에치 공정에 이상적인 다목적, 정밀, 공정 챔버 시스템입니다. 최대 백만 cm3의 레시피가 가능한 업계 최고의 1.8m 반경을 갖춘 AMAT 0040-02955 Reactor는 수많은 R&D, 생산 및 품질 관리 어플리케이션에 적합합니다. 모든 금속 2706-D 비자성 스테인리스 스틸 외장으로 설계된 APPLIED MATERIALS 0040-02955 Reactor는 고공차 진공 봉인, 양면 머시닝을 통한 고급 플라즈마 금속화, 오래 지속되고 안정적인 설계를위한 프리미엄 유니온 재료를 갖추고 있습니다. 또한 여러 긴급 종료 (Emergency Shutdown) 및 디지털 판독 (Digital Readout) 을 포함하여 최적화된 제어 기능을 통해 안전성과 다용성을 향상시킵니다. 또한 0040-02955 Reactor의 내부는 부식 내성 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 최대 작동 압력 530 Torr, 작동 온도 범위 -55 ~ 250 ° C 및 다양한 호환 기판 재료를 갖추고 있습니다. 이 원자로는 최대 18 개의 공정 프로그램을 지원할 수 있으며, 최대 백만 cm3의 인상적인 챔버 볼륨을 제공합니다. 또한 기판 균일성 및 증착률 향상을 위해 큰 증착 영역과 최적화 된 RF 일치 시스템 (optimized RF Matching System) 이 특징입니다. 3D 혼합 펄스 공정 및 기질 간 균일성을 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-02955 Reactor는 실리콘, 텅스텐, TiN 및 구리 텅스텐 증착과 같은 다양한 도전적인 응용 분야에 적합합니다. 침식 반응 및 방향 각도 플라즈마 스퍼터링의 균일 성은 실리콘, GaAs 및 SiN etch와 같은 다양한 에치 응용에 이상적입니다. 이 원자로는 또한 여러 기술 에치를 동시에 수행 할 수 있습니다. 또한 칩 레벨 설계 수정에 이상적인 높은 화면 비율 (Aspect Ratio) 에치 기능이 있습니다. 요약하면, AMAT 0040-02955 원자로 (Reactor) 는 증착에서 에치까지 다양한 프로세스 기술에 이상적인 솔루션입니다. 견고한 구조, 광범위한 프로세스 제어 옵션, 최대 가동량 (100만 cm3) 을 갖춘 APPLIED MATERIALS 0040-02955 Reactor는 일관되고 안정적인 결과를 달성하기 위한 완벽한 도구입니다.