판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-20676 #9141100

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-20676은 뛰어난 증착 균일성, 높은 처리량 및 우수한 적합성을 제공하는 저압 CVD 원자로입니다. 이 다재다능한 원자로는 고품질 박막의 증착에 이상적이며, 반도체 에칭, 질화물 epitaxy, graphene production, spacer layer deposition 등을 포함한 다양한 응용 분야가 가능합니다. AMAT 0020-20676 원자로 장비는 다양한 기능을 제공하여 매번 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 최대 4.2 킬로와트의 고성능 내부 3 상 전원 공급 장치를 갖추고 있으며, 분당 최대 300 ° C의 조절 가능한 난방 속도를 제공합니다. 또한, 로우 프로파일 챔버 창 (low-profile chamber window) 을 갖춘 효율적인 쿼츠 튜브 (quartz tube) 설계를 통해 높은 증착비와 균일 한 증착률을 허용합니다. 또한 APPLIED MATERIALS 0020-20676에는 가스 흐름, 압력 및 온도를 정확하게 제어 할 수있는 유체 관리 시스템이 장착되어 있습니다. "플루이드 '장치 의 독특 한 설계 는" 박막' 증착 과정 과 진공 및 초 임계 처리 에 이상적 이다. 더욱이, 이 기계는 또한 전체 처리 부피에서 균질 한 온도를 보장하는 고급 온도 균일성 제어 도구 (advanced temperity uniformity control tool) 를 갖추고 있습니다. 원자로는 최적의 안전을 위해 설계되었으며, 자동 안전 차단 (automated safety shutoff) 기능은 임의의 매개변수가 안전 제한을 초과하면 활성화됩니다. 또한, 원자로는 고급 재료 증착 탐지 (advanced material deposition detection) 기술로 설계되었으며, 이를 통해 실시간 모니터링을 통해 프로세스가 원하는 작동 매개변수 내에 유지되도록 할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT 0120-20676 원자로는 다양한 박막 증착 프로세스에 적합한 선택입니다. 고급 기능, 뛰어난 성능, 안전 기능을 갖춘 이 다양한 자산은 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있습니다. 또한, 유니버설 쿼츠 튜브 (Universal Quartz Tube) 설계를 통해이 원자로 모델은 많은 공정 및 기판에 적용 될 수 있으며, 모든 증착 요구에 대해 안정적이고 다재다능한 선택입니다.