판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C #9087289

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C는 화학 증기 증착 (CVD) 공정의 사용을 위해 특별히 설계된 원자로입니다. 이 장치에는 길이 2 피트, 직경 2 피트의 원통형 챔버가 있습니다. 챔버에는 챔버 바닥에 전기적으로 가열 된 척이 있습니다. 이 "척 '은 기판 이나 CVD 치료 를 받는 물체 를 보유 하는 데 사용 된다. 기판의 직경은 2 ~ 6 인치입니다. 챔버 (chamber) 에는 챔버 (chamber) 의 목 바로 아래에있는 상단 가장자리에 4 개의 밸브 액세스 포트가 있습니다. 이 포트를 사용하면 CVD 프로세스 중에 물질이 챔버 안팎으로 흘러 나갈 수 있습니다. 이 4 개의 밸브는 종종 프로세스 가스, 진공 펌프 배기 (vacuum pump exhaust) 와 같은 다양한 물질의 입구 및 출구 유량을 제어하는 데 사용됩니다. 응용 프로그램에 따라 여러 가지 방법으로 밸브를 구성할 수 있습니다. 방은 또한 알루미나 서셉터 (alumina susceptor) 또는 척 (chuck) 에 배치 된 특수 도자기 (ceramic material) 조각을 특징으로하여 챔버 내 열을 균등하게 분배합니다. 이것 은 "기판 '이 위치 한" 돈' 에 관계 없이 동일 한 수준 의 열 을 받게 하는 데 도움 이 된다. AMAT 0020-20626 Rev C 원자로에는 안전하게 작동 할 수있는 여러 기능이 있습니다. 챔버 (Chamber) 에는 비상 사태 발생 시 시스템 전원을 차단하는 데 사용할 수있는 비상 차단 (Emergency Shut-off) 스위치가 장착되어 있습니다. 그 에 더하여, 원자로 에는 "가스 '를 불활성 으로 흐르는 장치 가 갖추어져 있는데, 이것 은 깨끗 한 질소" 가스' 속 에 "펌프 '를 넣어 심실 에 있을 수 있는 유해 한 가스 를 변위 시킬 수 있다. 전력 면에서, 원자로에는 20,000 와트 가열 요소가 장착되어 있으며, 이는 다양한 CVD 공정을 수행하기 위해 필요한 온도를 제공 할 수있다. 원자로에는 가변 전원 공급 장치 (Variable Power supply) 가 있어 공정의 요구 사항에 따라 각기 다른 수준의 전원을 공급하도록 조정할 수 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C 원자로는 다양한 CVD 프로세스에 사용되는 신뢰할 수 있고 다양한 장치입니다. 여러 가지 안전 (safety) 기능을 갖추고 있으며, 다양한 화학 증기 증착 응용 프로그램 (chemical vapor deposition application) 을 위해 다양한 온도에서 안전하게 작동 할 수 있습니다.