판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev H #9145237

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev H는 화학 증기 증착 (CVD) 프로세스에 사용하기위한 고급 열 원자로입니다. 원자로는 높은 수준의 제어, 정밀, 재현성을 제공하도록 설계되었으며, 이는 생산 속도, 일관성, 신뢰성을 개발하거나 향상시키려는 사람들에게 이상적입니다. 원자로는 정확한 열 제어 및 균일 한 처리 환경을 보장하기 위해 고급 폐쇄 루프 (closed-loop) 공정 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 다양한 진단/데이터 로깅 툴을 사용하여 시스템 성능을 문서화하고 장기적인 프로세스 최적화를 지원합니다 (영문). 원자로의 용량은 24 인치 x 24 인치 웨이퍼 용량으로 최대 2504 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 압력은 1 내지 150 Torr 범위에서 조절 가능하며, 이는 epitaxial 증착 및 저온 공정을 포함한 다양한 응용을 지원한다. 온도 범위도 조정이 가능하여 주변 ~ 1000 ° C를 제공합니다. 또한 최대 100 개의 다른 프로세스 레시피를 정확하게 저장할 수있는 최첨단 마이크로 프로세서 제어 스테이션이 있습니다. AMAT 0020-0323 Rev H는 또한 안전 연동, 실시간 모니터링, 일관된 성능 등 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 연동은 안전을 보장하는 데 도움이 되며, 실시간 모니터링을 통해 운영자는 프로세스 매개변수를 확인하고 필요에 따라 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 일관된 성능은 반복 가능한 결과를 보장하며, 이는 프로세스 레시피의 활용을 통해 더욱 최적화될 수 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev H는 CVD 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 열 원자로입니다. 탁월한 제어, 정밀, 재현성 (reprodibility) 을 제공하여 원하는 프로세스 결과를 개발하고 최적화할 수 있습니다. 최대 2504 개의 웨이퍼, 조절 가능한 압력 및 온도 범위, 안전 인터 록 (Safety Interlock) 을 처리 할 수있는 용량으로, 원자로는 향상된 성능, 일관성 및 신뢰성을 찾는 사람들을 위해 안정적이고 정확한 솔루션을 제공합니다.