판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93133 #9277991

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133은 반도체 제조에 사용하도록 설계된 고급 자동 원자로입니다. 원자로는 주로 에칭, 증착 및 청소 프로세스에 사용됩니다. AMAT APPLIED MATERIALS Endura 플랫폼의 다른 구성 요소와 함께 사용됩니다. AMAT 0010-93133은 다양한 응용프로그램을 위해 구성 될 수있는 외피 플라즈마 가공로입니다. SMIF 호환 하드웨어를 통해 장비 내/간 부품을 효율적으로 전송할 수 있습니다. ETCH 및 CVD 원자로는 통합 피드백 루프를 사용하여 가스 흐름, 압력, 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기능은 자동화된 환경에서 뛰어난 프로세스 반복성과 재현성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS 0010-93133 원자로의 설계에는 운영 효율성을 향상시키는 몇 가지 혁신적인 기능이 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 알루미늄에서 구리까지 다른 재료를 생산하도록 구성 할 수있는 멀티 챔버 (multi-chamber) 도구가 있습니다. "실리콘 '산화물 의 생산 과 같은 대체 용도 를 위해 상부" 챔버' 를 밀봉 하고 가압 할 수 있다. 하단 챔버는 주파수 및 전압 처리를 위해 완전한 RF 및 DC 공축 주입 포인트를 제공합니다. 0010-93133 원자로는 또한 PECVD 환경에서 작동하기위한 고 진공 챔버를 특징으로합니다. 이를 통해 증착률이 높고 결정 밀도가 높아집니다. 닫힌 루프 컨트롤러 (closed-loop controller) 를 사용하여 각 웨이퍼에 대해 플라즈마 조건을 조정하여 일관된 증착 프로파일을 제공 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133 원자로에는 전체 공정을 제어하기위한 컴퓨터 화 된 장치도 포함되어 있습니다. 여기에는 가스 사용률 및 웨이퍼 전송을 모니터링하고 웨이퍼 온도 및 가스 흐름에 대한 실시간 데이터를 제공하는 것이 포함됩니다. 이 기계는 또한 고급 보안 (Advanced Security) 및 감사 추적 (Audit Trail) 기능을 제공하여 전체 프로세스에 대한 완전한 책임을 보장합니다. 전반적으로 AMAT 0010-93133은 반도체 제작 산업에 사용하도록 설계된 최첨단 자동 원자로입니다. 멀티 챔버 (multi-chamber) 공정이 가능하며 여러 유형의 재료를 생산할 수 있습니다. 고급 제어 도구를 통해 정확한 작동과 뛰어난 프로세스 반복성을 얻을 수 있습니다. 이를 통해 APPLIED MATERIALS 0010-93133은 모든 반도체 제작 시설에 유용한 도구입니다.