판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-81422 #293664188

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-81422는 모션 컨트롤 전문가 AMAT가 설계하고 개발 한 고온 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 강력한 원자로는 질화 갈륨 (GaN), 인화인듐 (InP) 및 알루미늄 갈륨 비소 (AlGaAs) 와 같은 화합물 반도체 재료를 포함하여 다양한 박막 및 이종 구조 물질의 공정 개발 및 생산에 특히 유용합니다. 이 다목적 장비는 2 인치 챔버로 광범위한 웨이퍼 기하학에 적합하며, 최대 450 ° C의 온도를 처리하도록 제작되었습니다. 견고하고 신뢰할 수있는 원자로 장비는 최대 6 개의 소스 포트와 저난류 챔버 (low turbulence chamber) 에서 반응물을 펌핑하기위한 가스 분사 및 매니 폴드 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 조정 가능한 증착률, 펄스 증발기, 공동 증발기 (co-evaporator) 등 물질적 증착에 광범위한 공정 조건이 사용될 수 있습니다. 또한, 질량 흐름 제어기 (Mass Flow Controller) 와 작동식 밸브 (Actuated Valv) 를 갖춘 각 포트는 챔버를 통해 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 배기 "가스 '는 안전 때문 에 일정 한 수준 을 넘지 말아야 하기 때문 에" 컴퓨터' 의 도움 으로 조절 된다. 원자로 시스템은 또한 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 를 통해 사용자는 프로세스를 빠르고 쉽게 설정하고, 실행을 시작하고, 실시간으로 결과를 모니터링할 수 있습니다. 이 사용자 친화적인 시스템은 공구의 관련 매개변수 (예: 압력, 기능, 온도) 를 표시하는 터치스크린 패널로 구성됩니다. 또한 안정적이고 실시간 피드백을 제공하여 일관성 있고 반복 가능한 프로세스를 구현합니다. 통합 열전대 및 팬 제어는 프로세스 온도 범위를 더욱 정확하게 제어합니다. AMAT 0010-81422 원자로를 이용하면 반도체 산업을위한 금속-유기 화합물에서 광범위한 물질을 빠르게 개발, 생산할 수 있습니다. 안전성 향상, 고급 제어 시스템, 높은 챔버 온도, 다양한 기능을 갖춘 이 소형 (compact) 강력한 원자로는 ULSI (Ultra-Large-scale Integration) 및 복합 반도체 프로세싱 분야에 적합합니다.