판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-77533 #293655752

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-77533은 박막 증착을 위해 설계된 고급 원자로입니다. 원자로는 수직 지향 소스 및 쉴드가있는 2 구역, 폐쇄 셀 크로스 플로우 설계를 특징으로합니다. 방패는 가열 가스 셀 (heated-gas cell) 내에 포함되어 있으며, 고출력 쿼츠 램프 (quartz lamp) 에 의해 가열되고 정확한 제어 메커니즘을 사용하여 품질 박막의 일관된 증착을 보장합니다. 가열 가스 셀은 차동 질량 흐름 컨트롤러 (differential mass flow controller) 의 사용으로 인해 균일 한 온도를 유지하도록 설계되었습니다. 이것은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 필름 증착을 보장하며 최적의 증착 조건을 유지합니다. 소스 (source) 와 실드 (shield) 도 오염을 줄이기 위해 최적화되어 최소 변광성으로 고품질의 박막 (thin film) 을 보장합니다. 균일 한 필름 두께를 달성하기 위해 AMAT 0010-77533 원자로는 3 축 뼈대를 통합합니다. 이 뼈대 (armature) 는 중력의 영향을 최소화하고 챔버 벽의 모든 재료에 균일 한 증착률을 유지하는 회전 제어 시스템 (rotational control system) 을 특징으로합니다. 전기질은 고온성 재료 (high-temperant material) 로 구성되며, 증착 영역으로의 균일 한 열 에너지 전달을 보장하기 위해 상하 (up-down), 상하 (side-to-side) 및 공정 챔버 (process chamber) 안팎으로 이동 할 수 있습니다. 원자로에는 증착 과정을 모니터링 및 제어하기위한 몇 가지 고급 (advanced) 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 사전 설정된 온도 범위를 유지할 수있는 정확하고 정확한 쿼츠 온도 컨트롤러 (quartz temperature controller) 가 포함됩니다. 이것은 일관되고 균일 한 증착을 보장하는 데 도움이됩니다. 또한 원자로에는 산소, 아르곤, 질소, 황 및 기타 가스와 같은 프로세스 매개 변수를 모니터링하는 OES (Optical Emission Spectroscopy) 가 포함됩니다. 이는 증착 프로세스를 정확하게 제어하고 처리량을 향상시키는 데 도움이됩니다. APPLIED MATERIALS 0010-77533 원자로는 생산성 및 효율성 향상을 위해 다양한 자동화 기능을 제공합니다. 여기에는 자동 전원 제어, 자동 공급 속도 제어 및 자동 차폐가 포함됩니다. 자동 전원 제어 (Automatic Power Control) 는 반복 가능하고 일관성 있는 성능을 제공하며 증착 프로세스의 지속 시간을 줄여줍니다. 자동 이송 속도 제어 (Automatic feed rate control) 는 증착실에 재료를 전달할 때 정밀도와 반복성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 자동 차폐는 오염 위험을 줄이고 컴포넌트 수명을 연장하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, 0010-77533 원자로는 안전하고, 효율적이며, 반복 가능한 방법으로 고품질의 박막을 제공하도록 설계되었습니다. 수직 지향 소스 및 쉴드, 쿼츠 램프 가열 가스 셀 및 균일 한 증착을위한 3 축 뼈대를 갖춘 2 구역, 폐쇄 셀 크로스 플로우 디자인이 특징입니다. 이 장치는 또한 고급 모니터링 (monitoring) 및 자동화 (automation) 기능을 갖추고 생산성을 높이고 필름 품질을 향상시킵니다.