판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-76036 #155137
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-76036은 반도체 산업의 재료 (예: 실리콘 및 기타 고급 재료) 를 처리하도록 설계된 원자로입니다. 그것 은 "웨이퍼 ', 기판 및 부품 및 다른 반도체 재료 의" 에칭' 및 증착 에 이상적 인 환경 을 제공 하도록 설계 된 거대 한 진공실 을 특징 으로 한다. AMAT 0010-76036은 초저속에서 높은 범위까지 압력을 가할 수 있습니다. 조정 가능한 게이트 (gate) 와 가속 전압 (accelerating voltage) 을 사용하여 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 기판을 적재 및 언로드하기위한 기계식 및 진공 급지대를 모두 갖추고 있습니다. 또한 공정 중에 챔버를 냉각하기위한 폐쇄 루프 (closed loop) 냉각 장비도 포함되어 있습니다. 사용자 친화적인 터치 스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 가 여러 개 있어 작동이 간편하며 프로세스 매개변수를 리모콘할 수 있습니다. 무선 네트워킹 설정 (setup) 을 사용하여 먼 거리에서 장치를 모니터링할 수도 있습니다. 응용 물질 0010-76036은 매우 다재다능하며 갈륨 비소, 실리콘, 질화 갈륨, 알루미늄 등 다양한 재료를 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 생산 규모뿐만 아니라 연구 개발 응용 분야에도 적합합니다. 이 기계는 또한 진공 인터 록 (vacuum interlock) 및 안전한 결제 시스템 (safe pay-off system) 과 같은 고급 안전 기능을 통합하여 안전하지 않은 프로세스와 위험한 재료가 공구에 출시되지 않도록 방지합니다. 자동 청소 서브시스템 (Automatic Cleaning Subsystem) 이 있어 작동 중에 챔버가 깨끗하고 안전하게 유지됩니다. 0010-76036에는 여러 가지 맞춤형 액세서리 및 구성 요소 (예: 온도 및 압력 게이지, 온도 센서, 기타 센서) 가 장착되어 있어 자산 성능을 모니터링하고, 서브트레이트 로드 및 언로드를 위한 다양한 피더가 제공됩니다. 이렇게 하면 모든 유형의 재료와 프로세스에 대해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-76036은 신뢰할 수 있고 매우 정밀한 원자로, 거의 모든 에칭 및 증착 응용 프로그램에서 우수한 결과를 제공합니다. 공정 매개변수 (Process Parameter) 의 정확한 제어, 다목적 설계 및 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 으로 보완되며 생산 및 연구/개발 애플리케이션에 이상적입니다.
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