판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9389380

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005는 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 단일 웨이퍼 원자로입니다. 단일 웨이퍼 원자로는 열 어닐링 공정의 일부로 사용됩니다. 단순 도펀트 활성화 (simple dopant activation) 에서 복잡한 구조 통합 (structural integration) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 대해 엄격하게 제어되는 환경에서 높은 온도를 제공합니다. AMAT 0010-75005는 완벽한 장비를 만들기 위해 협력하는 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 여기에는 반응 챔버에 균일 한 열 에너지를 제공하는 2 개의 수직 반대 램프가 포함됩니다. 이 램프는 TWO 전원 공급 장치로 구동되며, 이는 조도 (irradiance) 를 최대 10kW의 총 전력으로 정확하게 제어합니다. 또한, 반응 챔버에는 균일 한 조사 (irradiation) 를 보장하는 반사체가 포함되어 있습니다. 로드 록 (loadlock) 및 진공 전달 메커니즘은 빠른 변경 카세트를 사용하여 단일 웨이퍼 기판의 안전한 로딩을 가능하게합니다. 원자로에는 온도, 압력, 시간 (예: 정확한 어닐링 결과) 과 같은 매개변수를 제어하기 위해 빠른 열 처리 (RTP) 기술이 장착되어 있습니다. 이로 인해 디바이스 성능과 안정성이 향상됩니다. APPLIED MATERIALS 0010-75005는 PC 기반 열 배치 처리 소프트웨어 패키지를 사용하여 어닐링 프로세스를 최적화합니다. 이를 통해 열 프로세스를 제어하고 일괄 처리 (batch-to-batch) 를 반복할 수 있습니다. 또한, 원자로는 시스템 무결성을 최적화하고 운영자와 인력을 보호하기 위해 안전 기능으로 설계되었습니다. 0010-75005는 큰 터치 스크린 패널과 직관적인 컨트롤 메뉴를 갖춘 사용자 친화적 인 장치입니다. 진공 제어 및 웨이퍼 가열은 자동으로 관리되고, 사용자 정의 매개변수에 대해 안전 연동기 (Safety Interlock Machine) 를 설정할 수 있습니다. Silicon, Gallium Arsenide 및 기타 재료를 포함한 AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005를 통해 다른 기판을 처리 할 수 있습니다. 요약하면, AMAT 0010-75005는 열 어닐링 프로세스에 사용되는 단일 웨이퍼 원자로입니다. 온도, 압력, 시간을 정확하게 제어하여 향상된 어닐링 (annealing) 결과를 얻을 수 있으며 배치 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 안전 기능은 공구의 무결성을 보장하고 운영자와 인력을 보호합니다. 이 원자로는 여러 기판을 가진 반도체 장치 제조에 효과적인 도구입니다.