판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #293591839

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005는 박막의 가벼운 증착을 위해 설계된 원자로입니다. 실리콘 및 화합물 반도체 증착, LED 및 기타 광전자 재료에 사용됩니다. 원자로는 직경이 36 인치, 깊이가 35 인치 인 큰 공정 챔버를 가지고 있습니다. 방은 비활성 프로세스 환경으로, 증착에 필요한 온도와 진공 조건, 청결 수준 (cleanliness level) 의 전체 범위를 허용합니다. Turbo Torr 펌프 장비와 직접 주파수 기반 RF 전원 공급 장치를 갖춘 핫 월 디자인이 특징입니다. 뜨거운 벽 디자인은 뛰어난 온도 균일성과 방향이 잘 제어 된 플라즈마를 제공합니다. 전원 공급 시스템은 박막 공정에서 탁월한 균일성, 용량 속도, 반복성을 제공합니다. 또한 나노 구조의 크기와 모양을 더 잘 제어합니다. 이것은 정확한 레이어 두께 제어가 필요한 경량 증착 응용 프로그램에 중요한 기능입니다. 공정 챔버에는 전극 바스켓이 장착되어 있어 전극 배열 (electrrode arrangement) 의 유연성이 뛰어납니다. 이것은 필름 두께를 정확하게 제어하는 자가 조립 (self-assembled) 구조를 만들어야하는 에피택시 (epitaxy) 와 같은 여러 박막 프로세스에 유용한 기능입니다. AMAT 0010-75005 원자로는 또한 직접 구동 전자 총, 다중 레벨 셔터 제어, 공정 계측 및 자동 프로세스 모니터링 장치를 갖추고 있습니다. 이러한 기능은 박막 증착에서 더 큰 정확성과 반복성을 보장합니다. 수동 조정이 필요 없이 프로세스 매개변수를 빠르게 변경할 수 있습니다. 자동화된 프로세스 모니터링 시스템 (Automated Process Monitoring Machine) 은 프로세스 상태에 대한 포괄적인 피드백을 가능하게 하며, 이를 통해 최적의 성능을 보장할 수 있습니다. 이것은 변동성을 감소시켜 더 일관된 생산을 초래합니다. 모두 APPLIED MATERIALS 0010-75005 원자로는 경량 증착 공정에 적합한 도구입니다. 뛰어난 온도 균일성, 나노 구조의 크기와 모양에 대한 정확한 제어, 프로세스 상태에 대한 철저한 피드백 (feedback) 을 제공하여 최적의 성능과 반복성을 보장합니다. 광범위한 기능을 갖춘 이 원자로는 LED (LED) 와 광전자 (optoelectronic) 재료 증착에 이상적인 선택입니다.