판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70647 #293661401
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70647 Core Reactor는 박막 증착에 적합한 탁월한 솔루션입니다. 뛰어난 확장성과 유연성을 갖춘 단일 웨이퍼 (single-wafer), 저비용 (low-cost) 솔루션으로 대량 생산에 적합합니다. 원자로는 사용률이 높고 전환 시간이 빠른 600mm x 400mm 챔버를 특징으로합니다. 원자로의 주요 기능은 박막 증착 과정을 포함하고 조작하는 것이다. 독특한 코리스 (Coreless) 이중 용융 철 합금 풀 설계를 사용하여 넓은 표면적에 대해 매우 균일 한 증착 속도를 생성합니다. 이것은 우수한 균질 증착 결과를 허용합니다. 낮은 열 손실로 인해 다양한 프로세스에 완벽합니다. AMAT/Applied AMAT 0010-70647 Core Reactor는 공정 가스 및 증기의 효율적인 흐름을 위해 통합 질량 전달 장비를 사용합니다. 이 시스템은 반응성 증착 프로세스에 적합합니다. 플랫폼은 EAS (Environmental Authentication Unit) 를 통합하여 증착 환경을 정확하게 제어합니다. 기계는 300 ° C ~ 1100 ° C의 강착 온도와 대기에서 100mbar까지의 작동 압력을 처리 할 수 있습니다. 또한 온도와 압력 제어 (Pressure Control) 로 인해 배치 (batch) 에서 배치 (batch) 까지의 뛰어난 재생성 결과를 제공합니다. 응용 자료 0010-70647 원자로 설계는 또한 프로세스에 쉽게 설정할 수 있습니다. 대규모 마스크 및 기타 도구를 수용할 수있는 대형 프런트엔드 액세스 도어 (Front-End Access Door) 를 갖추고 있어 공구 수령시 즉시 처리를 시작할 수 있습니다. 에셋에는 차폐 증착실 (shielded deposition chamber) 과 조절/이동 가능한 플래튼 (platen) 및 통합 가스 전달 모델이 포함됩니다. APPLIED MATERIALS/Applied 0010-70647 Core Reactor는 탁월한 증착 기능 외에도 압력 제어 및 온도 프로파일 생성에 이상적인 APC (Automatic Pressure Control) 장비의 고급 기능을 자랑합니다. 이 시스템에는 기판 및 플래튼에 쉽게 액세스 할 수있는 마스크 리프팅 장치 (mask lifting device) 도 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70647 Core Reactor는 박막 증착 및 대량 생산에 적합한 탁월한 선택입니다. 효율적이고 반복 가능한 정착 프로세스는 넓은 영역에 대해 균질한 증착 (homogenous deposition) 을 보장하며, 신속한 전환 시간을 통해 생산성을 높입니다. 증착 프로세스와 박막 제작을 위한 고급, 신뢰성, 비용 효율적인 솔루션입니다.
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