판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70254 #293712587
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70254는 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고성능 원자로 장비입니다. 이 최첨단 툴에는 최첨단 (state-of-art) 기술이 적용되어 반도체 제작에서 정확하고 효율적인 증착, 에칭 및 기타 필수 프로세스가 제공됩니다. AMAT 0010-70254 원자로의 주요 구성 요소에는 공정 챔버, 가스 전달 시스템, 온도 조절 장치, 압력 제어 기계 및 플라즈마 생성 도구가 포함됩니다. 이러한 서브시스템은 제조 공정에서 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 보장하기 위해 조정되어 궁극적으로 고품질 반도체 장치로 이어집니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 실제 반도체 제작 프로세스가 진행되는 원자로의 핵심입니다. 특히 증착 또는 에칭 공정을 최적화하기 위해 온도, 압력, 가스 구성 등 제어 환경을 유지하도록 설계되었습니다. 방은 일반적으로 고급 난방 (Advanced Heating) 및 냉각 시스템 (Cooling System) 을 장착하여 원하는 공정 온도를 달성하고 실행 내내 열 안정성을 유지합니다. APPLIED MATERIALS 0010-70254 원자로의 가스 전달 자산은 증착 또는 에칭 공정에 필요한 전구체 가스 및 반응성 가스를 공급하는 데 중요한 역할을합니다. 이 모델은 원하는 필름 특성 (film properties) 과 에치 레이트 (etch rate) 를 달성하기 위해 정확하고 제어 된 가스 유량을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 질량 흐름 제어기 (Advanced Mass Flow Controller) 와 압력 조절기 (Pressure Regulator) 는 정확한 가스 전달을 보장하고 프로세스 안정성을 유지하기 위해 사용됩니다 원자로 내 온도 조절 장비 (temperate control equipment) 는 제조 과정에서 원하는 온도에서 프로세스 챔버를 유지하는 역할을 한다. 균일 한 필름 증착 및 재생성 가능한 에치 프로파일을 달성하려면 정확한 온도 조절이 필수적입니다. 이 시스템은 일반적으로 난방 요소, 온도 센서 및 피드백 제어 루프 (feedback control loop) 로 구성되어 단단한 공차 내에서 챔버 온도를 조절합니다. 0010-70254 원자로의 압력 제어 장치 (pressure control unit) 는 증착 또는 식각 과정 전반에 걸쳐 원하는 압력으로 프로세스 챔버를 유지하도록 설계되었습니다. 약실 의 압력 을 제어 하는 것 은 적절 한 "가스 '상 반응 및 필름' 특성 을 보장 하는 데 중요 하다. 기계는 일반적으로 스로틀 밸브, 압력 게이지, 피드백 제어 루프 (feedback control loop) 의 조합을 포함하여 챔버 압력을 정확하게 조절합니다. 원자로 내 플라즈마 생성 도구 (plasma generation tool) 는 반도체 재료의 증착 또는 에칭을 용이하게하기 위해 이온화 된 가스가 필요한 플라즈마 강화 공정에 사용됩니다. 자산에는 일반적으로 공정 챔버 내에서 플라즈마를 생성하고 유지하기위한 고주파 전원 공급 장치, RF 생성기, 플라즈마 소스가 포함됩니다. Plasma 프로세싱은 특정 반도체 제작 응용 프로그램을 위해 향상된 프로세스 제어 및 향상된 필름 품질을 제공합니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70254 원자로는 고급 반도체 제조 공정에 적합한 정교한 도구입니다. 최첨단 설계, 정확한 제어 시스템, 혁신적인 기능을 통해 고품질의 고성능 장치 (HPS) 를 구현하고자 하는 반도체 제작 설비에 귀중한 자산입니다. 이 원자로 모델은 첨단 기능, 강력한 성능, 반도체 프로세싱 (processing) 기술의 새로운 표준을 제시했다.
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