판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70064 #293658125

ID: 293658125
Loadlock chamber for P5000
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70064 원자로는 산업 및 과학 응용 분야의 기판에 박막 층을 처리 및 퇴적시키는 도구입니다. 원자로는 반도체 및 박막 증착, 표면 수정 및 관련 프로세스에 사용됩니다. 원자로는 생산 및 실험실 응용에 탁월한 성능과 공정 품질 (process quality) 을 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 밀폐 된 직사각형 모양의 스테인리스 스틸 챔버로 구성됩니다. 이 챔버 (Chamber) 는 강력하고 안정적인 내부 압력과 내부 유지 보수를위한 쉬운 액세스를 위해 설계되었습니다. 챔버의 내부 면적은 150 x 180 x 114cm이며, 상당한 용량과 높은 처리율을 제공합니다. 원자로는 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD), 표면 변형 및 에칭 응용을 포함한 광범위한 저진공, 고온 및 고진공 프로세스에 이상적입니다. 한 가지 주요 특징 은, 저압 수술 을 위한 원하는 공정 대기 를 유지 하고, 고압 수술 을 위한 진공 "레벨 '을 유지 하는 능력 이다. 원자로의 내부 작동 압력 범위는 1 x 10-5 mbar (최대 1000 mbar) 로 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 원자로는 반응물을 반응실에 도입하기 위해 다양한 소스를 활용 할 수있다. 이른바 "원자로 '다. 여기에는 핫 월 (hot wall), 콜드 월 (cold wall) 및 콜드 음극원 (cold cathode source) 이 포함되며, 모두 챔버 내의 고유 한 프로세스 특성 및 기능에 기여합니다. AMAT 0010-70064 원자로는 모든 장치에 뛰어난 수준의 안전 및 오염 제어 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 온도 모니터링 및 제어, 산소/이산화탄소 (O2/CO2) 모니터링과 같은 광범위한 안전 기능이 포함되며, 둘 다 반응 챔버를 안전하고 일관된 작동 조건으로 유지합니다. 또한, 챔버는 열손실을 최소화하여 최적의 프로세스 반복성을 보장하도록 잘 절연되고 설계되었습니다. 마지막으로, 이 모든 기능은 원자로 (reactor) 가 최소 폐기물 생산으로 고품질의 결과를 만들어내는 데 도움이됩니다. 응용 재료 0010-70064 원자로는 박막 증착을위한 강력하고 안정적인 도구입니다. 설계 및 기능으로 인해 광범위한 반도체, 표면 수정 및 에칭 (etching) 애플리케이션에 이상적입니다. 우수한 성능, 공정 품질, 안전 (Safety) 기능을 제공하여 모든 실험실이나 산업 환경에 적합한 선택입니다.
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