판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-59789 #293665586
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-59789는 다양한 재료 증착 및 표면 처리 기술에 사용하도록 설계된 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 원자로 장비입니다. AMAT 0010-59789 원자로 시스템에는 공정 챔버, 컨트롤러 및 가스 매니 폴드, 전원 공급 장치, 케이블 및 센서와 같은 다양한 액세서리가 포함됩니다. APPLIED MATERIALS 0010-59789 장치의 공정 챔버 (process chamber) 는 상단 돔과 하부 그릇으로 구성된 원통형 모양의 알루미늄 합금 진공 챔버입니다. 상단 돔에는 폐쇄 루프 (closed-loop) 강제 흐름 냉각기 (forced-flow cooling machine) 와 활성화 (enable) 스위치 및 센서가 포함되어 있으며 상단의 개별 포트를 통해 액세스할 수 있습니다. 바닥 그릇은 공정 챔버 (process chamber) 가 공정 가스 소스를 만나는 곳이며, 공정 플라즈마 (process plasma) 가 점화 된 곳이기도합니다. 방의 내부 벽은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 최대 400 ° C의 온도 처리에 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 바닥 그릇에는 부산물의 빠른 대피를위한 배기 포트도 있습니다. 0010-59789의 컨트롤러는 특별히 설계된 PC 제어 도구입니다. 여기에는 원자로의 시퀀스 작동을 감독하는 PLC (Programmable Logic Controller), RS232 및 485 통신 옵션 및 상용 레시피 기반 소프트웨어 프로그램을 지원합니다. 이 컨트롤러는 또한 통합 스크랩 관리 (scrap management) 자산을 지원하여 정보를 수집하고 운영 프로세스를 추적합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-59789 원자로 모델에는 작업을 용이하게하기 위해 설계된 여러 가지 액세서리가 있습니다. 가스 매니 폴드 (gas manifold) 는 원자로 가스를 전달하도록 설계된 반면, 전원 공급 장치는 플라즈마 점화 및 증착 공정에 RF (Radio Frequency) 에너지를 통합합니다. "케이블 '이나" 센서' 와 같은 부가적 "액세서리 '를 이용 하면 원자로 의 작동 조건 을 모니터링 하고 조절 할 수 있으며, 우발적 인 범람 으로 인한 손상 으로부터 보호 할 수 있다. AMAT 0010-59789는 실리콘, 폴리머, 금속, 반도체 등 단단하고 부드러운 재료의 어닐링, 산화, 에칭, 증착 등 다양한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 특히 온도와 압력 요건으로 인해 특수 장비가 필요한 공정 인 질화물 산화물 (nitride oxides) 의 생산을 위해 준비되어 있습니다. 이는 APPLIED MATERIALS 0010-59789를 연구 및 상업적 응용에 이상적으로 사용하므로 안정적이고 재현 가능한 결과가 필수적입니다.
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