판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-52034 #293648075

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-52034 Reactor는 광범위한 온도, 압력 및 공정 가스에서 작동 할 수있는 수동 작동 공정 챔버입니다. 인체 공학적 디자인과 사용자 친화적 인 기능으로, 재료 흐름과 증착률 (deposition rate) 을 정확하게 제어해야 하는 범용 증착 어플리케이션에 이상적입니다. 원자로는 스테인리스 스틸, 알루미늄 및 아연을 포함한 표준 재료로 구성됩니다. 원통형 챔버, 압력 게이지, 질량 흐름 컨트롤러, 난방 요소 및 공기 펌프로 구성됩니다. 이 조합을 통해 원자로는 얇은 필름 (thin film) 의 증기 증착 (vapor deposition) 과 같은 프로세스를 재료 표면으로 탐색 할 수있다. 원통형 스테인리스 스틸 챔버는 38 "L x 14" H x 14 "W이며 최대 60 ° C의 온도를 처리 할 수 있습니다. 약실은 300W 제어 난방 요소를 사용하여 부드럽게 가열 할 수 있으며, 최대 10 ° C/min의 속도로 원하는 온도 조절을 보장합니다. 가열 요소는 원자로 바닥에서 약 4cm 떨어져 있으며, 균일 한 가열을 제공합니다. 압력 "게이지 '는" 알루미늄' 으로 만들어졌으며 약실 꼭대기 에 위치 해 있다. 이 게이지는 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 에 연결되어 있으며, 사용자가 챔버 내에서 압력을 정확하게 조정할 수 있습니다. "컨트롤러 '는 공기 통풍구 와 배기" 플랜지' 에도 연결 되어 공기 의 유입 과 유출 을 조절 한다. 공기 펌프는 최대 4500 리터/분으로 실행되며 질량 흐름 컨트롤러 바로 아래에 장착됩니다. 이렇게 하면 원하는 공정 "가스 '와 증착 재료 가 계속 흐르게 된다. 또한, 챔버 (chamber) 는 최대 압력 1000 mbar 까지 올바르게 작동하며 소스에서 기판으로의 재료 흐름을 안정적으로 제어 할 수 있습니다. 완전한 AMAT 0010-52034 원자로는 최대 600 ° C의 온도에서 정확하고 안정적인 증착을 제공하도록 설계되었습니다. "디자인 '을 사용 하기 쉽고 견고 한 건축 방식 으로, 실험실 과 산업" 응용프로그램' 모두 에 적합 하므로, 일관된 결과 가 요구 된다.