판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36734 #293807909
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36734는 풀 사이즈 화학 증기 증착 (CVD) 챔버 원자로 서브 시스템입니다. 전자 빔 장비 (electron beam equipment) 내에서 사용하도록 설계되었으며, 주로 사전 패턴 된 기판 또는 웨이퍼에 재료를 증착시키는 데 사용됩니다. 약실은 초고압 조건에서 주변 압력 조건까지, 온도는 최대 2000 ° C까지 작동 할 수 있습니다. AMAT 0010-36734에는 세라믹 인젝터, 배기 시스템 및 전구체 또는 반응물 분배를위한 RF 코일이 포함됩니다. 이것 은 "챔버 '내 의 재료 를 균일 하게 분배 하여, 고효율 과 질 의 침전물 을 만든다. 또한, 챔버 (Chamber) 는 기판과 단위 구성 요소를 정전기 충전으로 인한 오염 및/또는 잠재적 피해로부터 보호하기 위해 몇 가지 치료 조치를 취합니다. 이러한 조치에는 반 정적 바닥재, 비활성 가스 샤워 및 특수 벽 처리가 포함됩니다. APPLIED MATERIALS 0010-36734 는 또한 특수 기술을 사용하여 챔버의 전반적인 성능 (예: 압력 제어 자동화, 균일성 제어, 원격 진단) 을 향상시킵니다. 이것은 재료를 정확하고 일관되게 증착하고 생산 수율을 향상시킵니다. 또한 챔버에는 모든 챔버 매개변수를 모니터링하고 제어하는 컴퓨터 제어 LCD 디스플레이 패널이 장착되어 있습니다. 이 패널은 압력, 온도, 증착률, RF 전력 및 가스 소비와 같은 정보를 제공합니다. 이를 통해 운영자는 프로세스 성능을 실시간으로 모니터링하고, 매개변수를 빠르고, 효율적으로 조정할 수 있습니다. 결론적으로 0010-36734는 산업 표준 CVD 챔버 원자로 기계입니다. 기판에 일관성 있는 고품질 (High-Quality) 예금을 제공하며, 공구의 안전을 유지하고 오염을 방지하도록 설계되었습니다. 이 챔버는 특수 기술을 활용하여 정확하고 효율적인 증착 환경을 보장하며, 컴퓨터 제어 LCD 디스플레이 패널 (Display Panel) 을 통해 손쉽게 조정할 수 있습니다.
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