판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36734 #293807846

ID: 293807846
웨이퍼 크기: 12"
Ceramic heater for Producer, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36734 원자로는 진공 분위기를 갖춘 수직, 이중 챔버 설계로, 컴팩트, 태블릿, 기타 다양한 장치와 같은 제품 양산을 동시에 처리 할 수 있습니다. 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 (QCM), 핫 액정 (HLC) 및 박막 디자인의 자동화를 위해 무거운 하중을 처리하도록 제작되었습니다. 유연성과 손쉬운 작동을 위해 설계된 AMAT 0010-36734 원자로는 최대 1150 ° C 온도와 최대 100mbar 압력에서의 반응을 허용합니다. APPLIED MATERIALS 0010-36734 원자로의 첫 번째 챔버에는 직경이 75mm 인 가열 석영 튜브와 석영 유리, SiC 및 SS316L과 같은 두꺼운 벽 재료가 포함됩니다. 석영 튜브의 단단한 밀봉은 2 개의 반응 챔버를 분리하면서 압력을 유지합니다. 또한, 제 1 형 원자로와 제 2 형 원자로 사이에 격리 게이트 밸브 (isolation gate valve) 가 배치되어 두 공정 가스 사이에 대피가 가능하다. 0010-36734 원자로의 두 번째 챔버에는 100 ~ 1100 ° C 사이의 공칭 반응 온도가 1150 ° C인 고속 우회 버너가 포함되어 있습니다. 우회 버너 (bypass burner) 는 최소 열 구배로 목표 구조에 효과적인 열 전달을 제공하도록 설계되었습니다. 반응 화학을 모델링하기 위해 열 질량 흐름 컨트롤러 (thermal mass flow controller) 가 시스템에 통합됩니다. 제어기는 반응 가스의 흐름과 혼합을 정확하게 제어 할 수있는 반면, 비활성 가스 (inert gas) 와 공정 가스 (process gas) 는 조정 가능한 주파수에서 작동 밸브를 통해 펄스 될 수있다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36734 원자로는 증발, 결정 및 어닐링 프로세스와 같은 광범위한 응용 분야에 이상적입니다. AMAT 0010-36734 원자로는 다재다능하며, 전력이나 가열된 공정 기체의 필요성을 제거하여 공정 실험에 사용할 수 있습니다. 이 원자로의 추가 기능으로는 초저진공 작동, 전용 공정 및 냉각 시스템, 온도 비상 경보 시스템 등이 있습니다. APPLIED MATERIALS 0010-36734 원자로는 견고하고 신뢰성 있는 원자로가 필요한 하이엔드 사용자를 위한 신뢰할 수 있는 품질 솔루션을 제공합니다.
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