판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36734 #293640081

ID: 293640081
웨이퍼 크기: 12"
Ceramic heater for Producer, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36734 원자로는 집적 회로 (IC) 제작을 위해 설계된 반도체 등급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 장비는 재료 과학 연구에 일반적으로 사용되는 고도로 전문화 된 유형의 CVD 원자로 (CVD Reactor) 로, 반도체 및 기타 고성능 재료의 균일 한 고품질 증착을 가능하게합니다. 이 특정 원자로는 8 인치 (203.2 mm) 반응 기질을 특징으로하며, 최대 처리량은 시간당 최대 80 웨이퍼입니다. 가열 된 인클로저는 4 개의 개별 구역으로 나뉘어, 온도 및 강착률을 매우 정확하게 제어합니다. AMAT 0010-36734 원자로에는 저압 탄화수소 구동 유전체가 장착되어 있으며, 에치 가스가 첨가 된 50 개 이상의 다른 물질이 증착됩니다. 이 시스템은 놀라운 속도와 정확도로 5 ° 또는 10 ° C 사이의 온도 범위에 도달 할 수 있지만, 압력이 감소하는 꾸준한 흐름을 유지합니다. 그것 은 정교 한 난방 요소, "센서 '," 밸브' 및 "가스 '흐름 조절 장치 를 사용 하여 모든" 웨이퍼' 와 기판 이 동일 한 양 의 열 과 처리 시간 을 받도록 한다. 동적 균일성 피쳐는 웨이퍼 서피스를 균일하게 유지하고 균일하게 처리합니다. 이 때문에 입자 오염이 최소화되어 고품질 결과가 발생합니다. 이 장치는 또한 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 이 제품은 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소로 구성된 Windows 기반 인터페이스를 사용하여 자동화된 웨이퍼 추적 (Wafer Tracking) 및 카운팅 (Counting) 을 비롯한 사용자에게 친숙한 시스템 제어를 제공합니다. 또한, 내구성이 뛰어난 건설은 긴 수명 및 낮은 소유 비용을 보장합니다. 기계는 부식에 강하고, 가혹한 작동 조건을 견딜 수 있으므로 매우 신뢰할 수 있습니다. 전체적으로 APPLIED MATERIALS 0010-36734는 탁월한 온도 및 공정 제어, 사용 편의성 및 유지 관리, 탁월한 균일성 및 결과의 품질로 인해 IC 제작을위한 이상적인 CVD 원자로입니다. 이 원자로는 제조 공정 (manufacturing process) 에서 탁월한 다용도와 정밀도를 제공합니다.
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