판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9358045

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 Reactor는 표면 및 박막 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 다용도, 고급 장비입니다. 원자로는 나선형 흐름 설계, 활성 가스 분포 및 로우 프로파일, 자체 포함 세라믹 쉘과 같은 혁신을 특징으로합니다. 이 디자인은 높은 필름 증착과 매우 낮은 결함 밀도를 가능하게합니다. 이 시스템은 큰 반응 챔버와 최대 0.004 m3의 부피를 갖는다. 증착의 균일 성은 혁신적인 가스 흐름 설계에 의해 더욱 향상되었으며, 이는 나선형 및/또는 뱀 유동 기술을 사용하여 가스 대 표면 접촉을 향상시킵니다. 활성 "가스 '분포 는 표면 상태 의 개선 과 같으며, 입자 의 오염 이 적고, 퇴적 된" 필름' 의 내화 금속 원소 가 크게 감소 되었다. 이는 예금 된 필름의 수명을 증가시켜 AMAT 0010-36408 Reactor를 고급, 고화질 프로세스에 적합하게 만듭니다. 원자로 (Reactor) 에는 삽입 가능한 RF 소스가 장착되어 있으며, 이 소스는 저압, 저열 예산 증착 프로세스를 가능하게하여 고가 코팅 응용 프로그램을 위해 가능합니다. 원자로 (Reactor) 에는 정밀 온도 조절 시스템 (Pressure Control System) 과 정밀 작동을 위해 설계된 압력 제어 시스템 (Pressure Control System) 도 있습니다. 원자로 (Reactor) 의 온도 범위는 소음 수준이 매우 낮은 최대 1800 ° C (1800 ° C) 까지 광범위한 증착 속도와 온도를 커버하도록 설계되었습니다. 이 고성능 원자로에는 저진동 세라믹 벨, 필름 마스크 보호, 프로세스 인터럽트 (process interrupt) 및 자동 밸런스 (autobalance) 기능을 포함한 다양한 자동 컨트롤이 제공됩니다. APPLIED MATERIALS 0010-36408 Reactor는 다양한 박막 증착 요구에 적합하므로 고화질 (High-Fidelity) 및/또는 고부가가치 코팅 어플리케이션에 적합합니다. 필름 증착과 낮은 결함 밀도의 균일성 (uniformity of film deposition) 과 낮은 결함 밀도는 시간이 지남에 따라 일관된 성능을 보장하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.