판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9026414

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408은 마이크로 전자 장치 제조에 사용하도록 설계된 고급 플라즈마 식각 원자로입니다. 광학적으로 생성 된 플라즈마가 기판 표면을 에치 (etch) 하고 패턴화하는 데 사용되는 초고진공 환경 (ultra-high-vacuum environment) 을 포함하고 유지하는 데 사용됩니다. 원자로는 기저부에 평평한 금속판이있는 원통형 챔버로 구성됩니다. 그것은 반응성 가스로부터의 부식에 강하도록 설계된 내부 벽과 외부 전기장 또는 자기 소음에서 플라즈마를 보호하기위한 패러데이 케이지 (Faraday cage) 를 특징으로합니다. 다층 음극 조립물 (multi-tiered cathode assembly) 은 상판 (top plate) 을 통해 챔버에 삽입되어 방전원 역할을하여 플라즈마에 의해 생성 된 전자를 수집합니다. 음극 조립체는 전원 공급 장치에 연결되어 있으며, 음극과 양극 (금속 판) (최대 30kV) 사이에 아크 방전 (arc discharge) 을 생성 할 수 있습니다. AMAT 0010-36408은 또한 에칭 마스크, 펌핑 포트 분리기, 디지털 판독 가스 압력 조절기 (digital readout gas pressure regulator) 와 같은 성능을 높이기 위해 전체 액세서리 (옵션) 라인을 갖추고 있습니다. 진공실에 위치한 전기 가열 원소 (electrical heating element) 는 원자로의 성분을 가열하고, 균일 한 반응 온도를 촉진하고, 플라즈마 안정성을 향상시키는 데 사용됩니다. 원자로에는 에칭 프로세스를 모니터링하기위한 시청 창도 있습니다. 마지막으로, APPLIED MATERIALS 0010-36408은 안정적이고 일관된 결과를 얻기 위해 공장에서 정확한 표준으로 조정됩니다. 견고하고 내구성이 뛰어난 구조로 다양한 운영 환경에서 안정적으로 성능을 발휘할 수 있습니다 (영문). 이 첨단 원자로는 반도체 업계의 고정밀도 에칭 (etching) 과 기판 패턴화를 위한 완벽한 선택이다.