판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9005020
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 원자로는 전례없는 디테일로 나노 스케일 구조를 제조하는 데 필요한 프로세스 단계를 정확하게 제어하고 실행하도록 설계된 고급 반도체 생산 도구입니다. AMAT 0010-36408 원자로는 강력한 로드 잠금, 멀티 가스, 다중 프로세스 기능을 특징으로하며, 포토리스 및 기타 새로운 재료와 함께 사용하도록 최적화되었습니다. APPLIED MATERIALS 0010-36408 원자로의 핵심은 1900 시리즈 고성능 플랫폼으로, 높은 균일성과 처리량을 제공하며, 설치/복구 시간을 최소화하여 가동 중지 시간을 줄여줍니다. 하중 잠금 설계 (load-lock design) 는 일련의 자동 밀봉 프로토콜을 통해 저비용 입자 오염 제어를 유지하는 데 도움이되며, 기판이 외부 입자와 공기 오염 물질로부터 분리되도록 보장합니다. 0010-36408에 존재하는 다중 가스 (multi-gas) 기능을 사용하면 스트리핑, 증착, 에칭과 같은 다양한 프로세스 단계를 수행할 수 있습니다. 시스템에 다중 흐름 (multiple flow) 컨트롤러를 포함하면 더 빠르고 안정적인 프로세스를 위해 보다 일관된 가스 흐름을 유지할 수 있습니다. 또한, 고급 기판 청소 (Advanced Substrate Cleaning) 기능을 사용하면 큰 기판 및 나노 와이어 (nanowire) 와 같은 섬세한 구조를 손상시킬 위험없이 청소할 수 있습니다. 이 기능은 반응성 이온 에칭 (etching) 프로세스를 사용하며 고정밀 로봇 간트리 시스템으로 관리됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408의 고급 Etch and Deposition Process를 사용하면 나노 스케일 구조의 정확한 등각 코팅 및 에칭을 통해 100nm 이하의 패턴화에 이상적인 패턴 화 환경을 만들 수 있습니다. 이 프로세스는 프로세스 매개변수를 자동화하고 프로세스 안정성을 지속적으로 모니터링하는 새로운 프로세스 최적화 소프트웨어 (Process Optimization Software) 에 의해 관리됩니다. 이 소프트웨어는 실시간 조정과 피드백을 허용하며, 원자로 (Reactor) 가 복잡한 패턴화를 만들고, 다른 생산 시나리오를 보여주고, 테스트할 수 있게 해 주며, 일관된 품질로 더 높은 수율을 제공합니다. AMAT 0010-36408 원자로는 탁월한 디테일과 정확도로 나노 스케일 (nanoscale) 구조의 제조에 최적화된 효과적이고 고성능 생산 도구입니다. 원자로 (Reactor) 는 여러 가지 혁신적인 기능을 결합하여 전체 운영 워크플로우를 단순화하는 사용자 친화적 (user-friendly) 인터페이스를 제공하면서 제조 프로세스를 개선할 수 있습니다. 이 다목적 도구는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 성능을 제공하여 나노 스케일 (nanoscale) 구조의 생산에 이상적인 선택입니다.
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