판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162W #293620937

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162W Reactor는 화학 증기 증착, 에칭 및 표면 수정과 같은 화학 및 재료 처리 작업을 수행하는 데 사용되는 고성능, 고성능 처리량 도구입니다. 원자로는 표준 직류 전원 공급 장치와 함께 사용하도록 설계된 수정 된 고효율, 저온, 직류 (DC) 용 플라즈마 강화 장비입니다. 폴리실리콘 라이너 (polysilicon liner) 는 반도체 산업에서 금속, 중합체 및 기타 유전체의 증착에 이상적입니다. AMAT 0010-36162W 원자로는 양방향 안전한 동작을 위해 확장 가능한 고정밀 선형 동작 베이스와 2 개의 접지 지원 유동 동적 양극 슬라이더를 갖추고 있습니다. 원자로 는 전적 으로 밀봉 되어 있어서, 오염 물질 의 축적 을 방지 하고, 정밀 한 화학 반응 을 가능 케 한다. 이 장치에는 증기 공급 시스템 (vapor supply system) 이 포함 된 동봉 된 챔버가 있으며, 정확한 증기 전달과 우수한 기화 제어가 가능합니다. 챔버 디자인에는 고급 가스 다이나믹 차폐 절연체 (gas-dynamic shielding insulation) 가 포함되어 있으며, 이는 온도 계층화를 제거하고 정확한 화학 온도 조절을 가능하게합니다. 적분 증착 매트릭스 (integral deposition matrix) 는 기판 인터페이스에서 대상을 정확하게 배치하는 반면, 4 구역 열 프로파일 제어 장치는 안정적인 열 관리를 보장합니다. APPLIED MATERIALS 0010-36162W 원자로의 제어 가능한 가스 머신은 최대 6 개의 개별적으로 프로그래밍 가능한 가스 입력을 사용하여 다수의 가스 반응과 정확한 화학 제어를 허용합니다. 이 장치에는 또한 TOF MS (time-of-flight mass spectrometer) 와 이온 펌프 (ion pump) 가 장착되어 휘발성 산화 과정을 촉진하고 반응 생성물의 직접 감지 및 제어를 허용합니다. 확장 가능한 프로세스 모듈을 사용할 수 있으며, 추가 증설 기능 및 향상된 재료 처리량을 제공합니다. 0010-36162W 원자로는 신뢰성이 높으며, 가장 거친 작동 조건에서도 뛰어난 제어 및 반복 가능한 성능을 제공합니다. 이 도구는 광범위한 기판 크기, 재료, 프로세스를 수용할 수 있도록 완벽하게 확장이 가능하며, 최대 유연성을 제공합니다. 정밀도, 선형 모션 (Linear-Motion) 어셈블리는 또한 뛰어난 반복성과 안정적인 레이어 일관성을 보장하며, 통합 진단 자산은 연산자에게 발생할 수있는 모든 문제에 대해 경고 할 수 있습니다. 최첨단 기술과 혁신적인 설계를 통해 가장 까다로운 화학 반응과 반도체 (semiconductor) 작업을 위한 이상적인 도구입니다.