판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162 #9075364

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162는 반도체 산업을위한 최고 수준의 순도, 폴리 결정질 실리콘 필름 성장을 제공하기 위해 설계된 수직 저압 화학 증기 증착 (LP-CVD) 원자로입니다. 독특한 특징으로 인해 가장 다재다능한 LP-CVD 원자로 중 하나입니다. AMAT 0010-36162 원자로에는 수직 석영 튜브 핫 존이 있으며 단일 및 다중 웨이퍼를 모두 수용 할 수 있습니다. 이 원자로는 일관된 온도 프로파일을 제공하는 고급 플랫 밴드 (flat-band) 난방 시스템 (heating system) 을 갖추고 수직 및 수평 웨이퍼 모두에서 균일 한 박막 성장을 제공합니다. 이 시스템은 또한 고효율 필름 성장과 간단한 챔버 어시스트 (chamber-assist) 제어를 위해 조절 가능한 유량을 가지고 있습니다. 또한, 가변 주파수 전원 드라이브 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 사용할 수 있어 프로세스 반복성이 정확합니다. 원자로 (reactor) 는 또한 창문 공정 챔버를 특징으로하며, 사용자가 증착 과정을 실시간으로 볼 수 있습니다. 이 원자로에는 증착률 및 필름 균일성을 측정하기 위해 내장 된 동적 분광계가 장착되어 있습니다. 또한, 고급 N2O 관리 시스템은 증착 과정에서 입자 수준을 줄이기 위해 설계되어 폐기물이 적고 수율이 높아집니다. 또한 APPLIED MATERIALS 0010-36162는 긴 수명을 가진 신뢰할 수있는 LP-CVD 원자로입니다. "쿼츠 '관" 핫 존' 은 수명 이 더 길고 온도 가 더 높도록 설계 되어 있어서 가장 어려운 성장 조건 의 요구 를 충족 시킬 수 있다. 고급 전기 및 가스 시스템은 유지 보수가 거의없이 최대 효율성을 위해 설계되었습니다. 요약하면, 0010-36162는 반도체 산업을위한 폴리 결정질 실리콘 필름의 균일하고 고품질 성장을 제공하도록 설계된 안정적이고 효율적인 LP-CVD 원자로입니다. 이 기능은 가장 다양하고 고급 LP-CVD 원자로 중 하나입니다.