판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #9199797

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686
ID: 9199797
High efficiency RF matching network. .
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686은 다양한 재료를 신속하게 처리하도록 설계된 플라즈마 CVD 원자로입니다. 이 기능은 매우 높은 온도에서 작동할 수 있으며, 다양한 프로세스 옵션 (process options) 을 제공하여 특정 애플리케이션에 가장 적합한 처리 매개변수 (processing parameter) 를 선택할 수 있습니다. 원자로에는 고에너지 이온 (ion) 을 생성해 고온에서 가공할 수 있는 고급형 플라즈마 (plasma) 소스가 장착돼 있다. 견고 하고 신뢰 할 수 있는 "플라즈마 '원 은 또한 열 수송 을 효율적 으로 수행 하여, 빠른 공정 주기 와 뛰어난 공정 반복 을 가능 케 한다. AMAT 0010-30686 원자로는 밀봉된 직사각형 챔버로, 최고 등급 알루미늄 및 스테인리스 스틸로 구성됩니다. 원자로 상단에 위치한 가스 매니 폴드 (gas manifold) 는 가스 라인 (gas line) 에 연결되며, 주어진 프로세스에 대한 최적의 유속 및 압력 수준을 제공하도록 조정 될 수 있습니다. 챔버 내부에서, 지원 구조를 사용하여 플라즈마 토치 (plasma torch) 가 기판 표면 위에 매달려 프로세스 조건에 대한 최적의 제어 및 반복 가능한 결과를 허용합니다. 플라즈마 토치는 고주파 발전기로 구동되며, 고에너지 (13.56 MHz) 전파를 생성 할 수 있습니다. 이 에너지는 RF 네트워크를 통해 토치 노즐에 전달되어 고밀도 플라즈마 (plasma) 를 생성합니다. 혈장은 최대 1500 ° C의 온도를 달성하기에 충분히 활기차며, 초당 여러 옹스트롬 (angstrom) 의 속도로 필름 및 코팅의 성장을 가능하게합니다. 기질은 챔버에 적재 된 다음 액체 전구체 용액에 잠긴다. 액체-고체 인터페이스 (liquid-solid interface) 는 일정한 온도에서 유지 될 수 있으며, 기질은 균질하게 가열되고 심지어 필름 증착을 촉진할 수있다. 약실 내부의 압력 수준 (pressure level) 을 조정하여 특정 프로세스에 대한 원하는 압력을 달성 할 수 있습니다. 온도는 컨트롤 패널 (Control Panel) 을 통해 조절 될 수 있습니다. 제어판 (Control Panel) 은 챔버 벽에 내장된 열 구리에 연결되어 프로세스 조건에 대한 정확한 제어 및 모니터링이 가능합니다. 응용 재료 0010-30686 (APPLIED MATERIALS 0010-30686) 원자로는 광범위한 응용 분야에 사용될 수 있으며, 이는 연구원과 산업 모두에게 다용도 도구입니다. 신뢰성 있고 반복 가능한 공정으로 고품질 박막 (Thin Film), 코팅 (Coating) 및 전자, 광전자, 센서 및 의료 장치에 사용되는 기타 복잡한 재료를 제작 할 수 있습니다.
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