판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #293635611

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686은 프로세스 유연성과 최고의 공정 성능을 위해 설계된 단일 와퍼 배치 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 원자로 구조는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 부식 물질과 함께 사용하기 위해 가스 타이트합니다. 이 시스템은 높이가 균일하고 기판 표면이 높고 온도가 높은 기판 표면에 필름 (film) 을 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 프로세스 및 로드 락 챔버에 모두 액세스 할 수있는 1 카세트 디자인입니다. 이 공정 챔버는 표준 에피 택시 및 고급 공정 화학 물질을위한 2 구역 구성과 특수 공정 화학 물질을위한 3 구역 구성을 제공합니다. 로드 락 챔버 (Load Lock Chamber) 는 다목적 현장 처리 챔버를 특징으로하며 프로세스 가스, 펌프 및 기타 액세서리를위한 여러 포트가 있습니다. AMAT 0010-30686 원자로에는 가스 전달 및 모니터링 시스템을 수용하는 가스 박스가 포함되어 있습니다. 이 가스 상자는 온도 조절이며 입자 여과, 압력 및 흐름 제어를 포함합니다. 또한 전자 흐름 제어 및 압력 트랜스듀서와 가스 혼합 매니 폴드를 포함합니다. 이 기계에는 모든 전자 자동화, 알고리즘 및 고급 소프트웨어 기술이 있습니다. 최대 7 개의 가스, 여러 개의 챔버 기능을 갖춘 고속 에치 및 증착 레시피를 지원합니다. 열 균일성을 위한 통합 칠러, 최대한의로드 포트 지원, 쿼드 존 (Quad-zone) 벽 제어 기능을 통한 다중 영역 프로세스 제어, 자동 레시피 최적화 등의 기능이 있습니다. 안전성 및 신뢰성 측면에서, 이 도구는 안전하고 안정적인 작동을 보장하기 위해 경보 시스템, 안전 연동 (Safety Interlock), 전압 연동 (Voltage Interlock) 및 프로세스 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 원자로는 낮은 에너지 사용과 효율적인 작동을 위해 설계되었습니다. 이 자산은 유지 보수 및 서비스가 간편한 모듈식 설계도 갖추고 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 0010-30686 원자로는 고품질 필름 제작을 위해 안정적이고 효율적인 모델입니다. 고급 공정 화학 물질, 다중 구역 프로세스, 가스 박스 온도 제어 설계, 안전 인터 록 (Safety Interlock) 및 경보 (Alarm) 및 최적화 된 레시피 자동화는 균일성과 뛰어난 표면 매끄러움을 가진 기판의 필름 증착을위한 이상적인 장비입니다.