판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30160 #293664963

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30160은 여러 공정 기술 (증착 및 플라즈마 에칭) 을 단일 기판 처리 장비로 결합하는 열/진공 공정 반응 챔버 및 보트입니다. 정교한 온도 조절, 가스 전달 및 플라즈마 소스 기술을 갖춘 강력한 진공 챔버 (vacuum chamber) 로 구성됩니다. AMAT 0010-30160 (AMAT 0010-30160) 은 핫 존 (Hot Zone) 기능을 통해 정확한 열 제어를 가능하게하며, 이는 반응 챔버의 가시 내부에서 균일 한 온도 분포를위한 고급 피로메트리 시스템을 특징으로합니다. 응용 자료 0010-30160 (APPLIED MATERIALS 0010-30160) 에는 연장 기간 동안 균일한 온도 제어를 위해 설계된 고급 저압 장치가 장착되어 있습니다. 그 효율적 인 고진공기 는 "기판 증착 속도 '를 극대화 하고" 챔버' 의 표면 의 오염 을 감소 시키도록 설계 되었다. 효과적인 인라인 플라즈마 소스는 또한 저전력 전송 속도 (Low Power Transfer Rate) 로 고체 상태와 효율성을 갖도록 설계되었습니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 에는 가열 된 서셉터 (susceptor) 가 포함되어 있으며, 선형 트랙 및 운송 테이블에 설정되어 챔버 내에서 자동으로 이동할 수 있습니다. 이를 통해 실내에서 기판을 수동으로 제거하지 않고도 원자로 재료 (reactor material) 를 효율적으로 변경하여 표면에 대한 손상 위험을 줄일 수 있습니다. 반응 챔버에는 빠른 스위칭 압력 제어 밸브 (fast-switching pressure control valve) 와 고출력 히터 (high-powered heater) 가 포함되어 있어 챔버 압력과 온도를 원하는 수준으로 빠르고 효율적으로 가져올 수 있습니다. 또한 0010-30160 (0010-30160) 은 활성 냉각 기능을 통해 내부 온도 제한을 초과하는 챔버의 위험을 줄입니다. 이 약실 에는 "가스 '배달 도구 가 장착 되어 있는데, 이 도구 는 또한" 가스' 를 정밀 한 양 의 반응물 을 약실 에 정확 하게 주입 할 수 있다. 그 결과 "가스 '의 비율 을 정확 하게 측정 하고 모니터링 할 수 있다면" 가스' 의 환경 을 안정적 으로 조절 하여 정확 한 결과 를 낼 수 있다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30160 (AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30160) 은 반도체 소자 제조에 이상적입니다. 그것 은 또한 "가스 '가" 반도체' 생산 에 이상적 인 도구 가 되게 하는 것 을 정확 하게 보장 하면서 빠른 처리 를 가능 케 한다. 여러 가지 처리 기법 을 신속 히 전환 하는 능력 은 "쿠우커 '의" 유틸리티' 를 증가 시키며, 이것 을 복잡 한 구조 를 만들기 위한 효과적 인 도구 로 만든다.