판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30125 #9277735

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30125는 박막의 빠르고 정확한 증착에 사용되는 고속 반응 챔버입니다. 그것 은 화학 "가스 '와" 에너지' 원 의 혼합물 을 이용 하여 균일성, 광학 및 전기 특성 과 같은 얇은 "필름 '의 원하는 특성 을 만들어 낸다. 이 원자로실은 비용 효율적인 공정을 위해 특별히 설계되어, 지역당 낮은 비용 증착 속도를 제공합니다. 원자로 챔버는 스테인레스 스틸로 구성되어 온도에 강한 주택을 제공합니다. 불활성 "가스 '담요" 시스템' 은 작동 중 의 안정성 을 유지 하고 원치 않는 산화 및 오염 을 방지 하기 위하여 존재 한다. 또한, 진공 "펌프 '는 공기 를 약실 에서 끌어내어, 반응 에 대한 원하는 압력 을 가하게 한다. 이 챔버는 일반적으로 작동 중에 최대 650 ° C까지 가열되어 반응 과정을 더 돕습니다. 이 챔버의 중심부에있는 주요 요소는 웨이퍼 히터, 유도 결합 플라즈마, (ICP) 생성기, 쇼어 헤드, 고주파 및 저주파 고전압 발전기, 관련 전극, 코일 및 가스 라인입니다. 웨이퍼 히터는 웨이퍼에서 균일 한 온도를 유지하는 반면, 유도 결합 플라즈마 생성기는 양전하 이온 및 전자로 균일 한 플라즈마를 생성한다. 그런 다음 샤워 헤드는 플라즈마를 웨이퍼쪽으로 향합니다. 이 과정에서 고주파 (high-frequency) 와 저주파 (low frequency) 발생기는 전극에 전기 에너지를 공급하여 플라즈마 입자와 계단식 반응을 일으킨다. 일단 원하는 구리 박막 이 증착 되면, "가스 '와 전기" 에너지' 가 차단 되어 "웨이퍼 '처리 의 빠른 회전율 을 낼 수 있다. 요약하면, AMAT 0010-30125는 효과적이고 비용 효율적인 방식으로 박막 증착을 위해 설계된 고속 반응 챔버입니다. 그 구성 요소는 플라즈마, 전기 에너지, 온도 조절 가스와 관련된 계단식 반응을 통해 정확하고 제어 가능한 박막 증착을 가능하게합니다.